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  Publication (研究業績)


2023

(1)      Hayato Sato, Akira Maruyama, Ryo Saito, and Takashi Mineta Fabrication of Shearing-motion-type Tactile Display Mechanism using SMA Thick-film Actuators and Coil Springs Array, IEEJ Trans. on Electrical and Electronic Eng. Vol. 18, pp. 1220-1225 (2023)

(2)      Ryo Saito, Haruto Amano, and Takashi Mineta, High Output Tactile Display Using Sma Thick Film Actuator Array With Improved Thermal And Frequency Response, 22th Int. Conf. on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2023), pp. 820-823 (2023)

(3)      峯田貴, SMA膜を用いたMEMS触覚ディスプレイ素子の開発, R5電気学会全国大会シンポジウム講演, S22-3, pp. S22(4)-(7), (2023, Mar. 15)

(4)      関康貴, 藤井達也, 鈴木庸久, 峯田貴, LiCl 電解質を用いた非水溶媒によるTi 電析の基礎的研究, 147回表面技術講演大会, p. 69 (2023. Mar. 7)

(5)      清水広人, 佐藤勇人, 峯田貴, SMA厚膜型せん断振動触覚ディスプレイのためのSU-8ばね機構の一括形成法の開発, R5電気学会センサ・シクロマシン部門総合研究会, pp. 79-82 (2023)

(6)      田村晴紀, 天野晏年, 齋藤凉, 峯田貴, 7x7 SMA厚膜アクチュエータアレイMEMS触覚ディスプレイの形成とフレキシブル化のための基板分離法の検討, R5電気学会センサ・シクロマシン部門総合研究会, pp. 75-78 (2023)

(7)      嶋村悠人, 松阪晃佑, 山﨑亮, 徐嘉楽, 峯田貴, 葉の表面の濡れ状態を模した微細凹凸構造を有する液滴検出センサに関する研究, R5電気学会センサ・シクロマシン部門総合研究会, pp. 59-61 (2023)

(8)      清水広人, 佐藤勇人, 峯田貴, 形状記憶合金とリソグラフィ一括形成型バイアスばねを用いたせん断動作触覚ディスプレイ機構部の形成, 日本機械学会東北学生会 52回学生員卒業研究発表講演会 (2023)

(9)      田村晴紀, 天野晏年, 齋藤凉, 峯田貴, 多素子化したSMA厚膜アクチュエータ型MEMS触覚ディスプレイの形成と動作特性の評価, 日本機械学会東北学生会 52回学生員卒業研究発表講演会 (2023)

 

2022

(10)   佐藤 勇人, 丸山 , 齋藤 , 峯田 , MEMS触覚ディスプレイのためのSMA厚膜によるせん断動作機構の形成および動的特性評価, 39回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム, 16P2-P-23-pp. 1-2 (2022)

(1)      滝口 創太, 峯田 , UVレーザー直描による高アスペクト比の厚膜円筒リソグラフィ, 39回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム, 15A3-D-4-pp.1-4 (2022)

(2)      天野 晏年, 齋藤 , 山田 将也, 松井 弘之, 峯田 , フレキシブルMEMS型触覚ディスプレイを目指したSMA厚膜アクチュエータアレイと個別通電のための有機ダイオードの形成, 39回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム, 15A2-A-4-pp.1-4 (2022)  ★五十嵐賞・奨励賞ファイナリスト

(3)      髙橋響, 小入羽祐治, 峯田貴, 電子顕微鏡観察用の超薄切片試料の自己整合捕捉機能を付加した支持チップの形成および捕捉挙動評価, 13回マイクロナノ工学シンポジウム, 15P2-PN-23-pp.1-2 (2022)

(4)      佐藤勇人, 丸山顕, 齋藤涼, 峯田貴, MEMS触覚ディスプレイのための厚膜SMA型せん断動作機構の形成と動的特性の評価, 日本機械学会東北支部第58期秋季講演会, C3-3-pp.1-2 (2022) 日本機械学会若手優秀講演フェロー賞受賞

(5)      小林和生, 佐藤隆士, 滝口創太,小椋創太,峯田 , さくらんぼ収穫時のもぎとり力と把持力計測のための指装着型センシング機構の開発, 日本機械学会東北支部第58期秋季講演会, C3-2-pp.1-2 (2022)

(6)      髙橋響, 小入羽祐治, 峯田貴, 電子顕微鏡観察用の超薄切片捕捉のための表面張力による自己整合型の試料ホルダチップ形成と捕捉挙動評価, 日本機械学会東北支部第58期秋季講演会, A4-1-pp.1-2 (2022)

(7)      松永忠雄, 鶴岡典子, 小野寺武, 山口明啓, 池沢聡, 土肥徹次, 神田健介, 岩見健太郎, 峯田貴, 林育菁, 津守不二夫,笠原崇史, 水野潤, 和泉慎太郎, 田畑美幸, 野田和俊, 荒川貴博, バイオ計測のための材料と微細加工, コロナ社 (2022.10.13) 単行本 電気学会 優秀技術活動賞グループ著作賞受賞

(1)      創太, , UVレーザー直描による厚膜レジストのアスペクトの円筒リソグラフ, 電気学会センサ・シクロマシン部門総合研究会, pp. 73-76 (2022)

(2)      天野晏年, 齋藤涼, ⼭⽥将也, 松井弘之, , フレキシブルMEMS触覚ディスプレイを指したアレイ状SMA厚膜アクチュエータと個別通電有機ダイオード素の形. 電気学会センサ・シクロマシン部門総合研究会, pp. 31-34 (2022)

(3)      Takashi Mineta, Ryo Saito, Haruto Amano, Optimally-designed SMA Film Actuator Array for MEMS Tactile Display, Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology 2022 (APCOT 2022), A0013 (2022)

(4)      Hayato Sato, Akira Maruyama, Ryo Saito, and Takashi Mineta Fabrication of Shearing-motion-type Tactile Display Mechanism using SMA Thick-film Actuators and Coil Springs Array, Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology 2022 (APCOT 2022), A0011 (2022)

(5)      J. Xu, Y. Kimura, K. Tsuji, A. Maruyama, R. Saito, T. Mineta, Characterization of the cooling-fluid-filled arrayed SMA thick film actuator for high power tactile display, Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology 2022 (APCOT 2022), A0125 (2022)

 

2021

(6)      小林和生, 佐藤隆士, 小椋創太, 滝口創太, 峯田貴, さくらんぼ収穫のもぎとり力と把持力計測の力覚センシング機構の開発, 51回学生員卒業研究発表講演会, 311-pp.1-2 (2022.3.8)

(7)      天野晏年, 斎藤涼, 山田将也, 松井弘之, 峯田貴, MEMS触覚ディスプレイのためのSMA厚膜アクチュエータアレイと個別駆動用有機ダイオード素子の形成, 日本機械学会東北学生会 51回学生員卒業研究発表講演会, 421-pp.1-2 (2022.3.8)

(8)      滝口創太, 峯田貴, UVレーザーによる厚膜レジストの高精度円筒リソグラフィー, 日本機械学会東北学生会 51回学生員卒業研究発表講演会, 422-pp.1-2 (2022.3.8)

(9)      齋藤涼, 天野晏年, 峯田貴, 触覚ディスプレイ素子のための熱応答を向上したSMAアクチュエータとDRIEとめっきによるTSV基板の形成, 38回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム, 10P3-SSL-75, pp. 1-2 (2021)

(10)   佐藤勇人, 丸山顕, 齋藤涼, 峯田貴, “アレイ状のSMA厚膜アクチュエータとコイルばねを配置したせん断駆動型触覚ディスプレイ機構部の形成, 38回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム, 10A3-SS2-3-pp.1-4 (2021)

(11)   Ryo Saito, Haruto Amano, Takashi Mineta, Optimal design and fabrication of high output SMA film actuator array for MEMS tactile display 9th Int. Conf. on Smart Sys. Eng. 2021 (SmaSys 2021), 113 (2021)

(12)   Jiale Xu, Yusuke Kimura, Kazuki Tsuji, Akira Maruyama, Ryo Saito, Takashi Mineta, Characterization of the cooling-fluid-filled SMA thick actuator array for high power tactile display, 9th Int. Conf. on Smart Sys. Eng. 2021 (SmaSys 2021), 114 (2021)

(13)   Hayato Sato, Akira Maruyama, Ryo Saito, Takashi Mineta, Fabrication of shearing motion mechanism with SMA-thick-film actuator and coil spring array for tactile display device, 9th Int. Conf. on Smart Sys. Eng. 2021 (SmaSys 2021), 115 (2021)

(14)   佐藤勇人, 丸山顕, 齋藤涼, 峯田貴, “アレイ状のSMA 厚膜アクチュエータとコイルばねを配置したせん断駆動型触覚ディスプレイの形成”, 電気学会センサ・シクロマシン部門総合研究会, pp. 37-40 (2021)

(15)   R. Saito, Y. Kimura, J. Xu, T. Mineta, Fabrication of Tactile Display Mechanism Using Arrayed SMA Thick Film Actuator and Si TSV Layer with Individually Connecting Diode, Trans. IEEJ-E, Vol. 141, No. 7 pp.260-264 (2021. 7) (SS37受賞論文特集号) 査読付

(16)   峯田貴, VR/AR技術における感覚の提示、拡張技術と最新応用事例 (49節“MEMS技術による形状記憶合金型触覚ディスプレイの開発と応用), 技術情報協会, pp. 226-232 (2021)

(17)   佐藤勇人, 丸山顕, 齋藤涼, 峯田貴, “厚膜SMA アクチュエータとコイルばねによるせん断駆動型触覚ディスプレイの形成”, 日本機械学会東北学生会 50回学生員卒業研究発表講演会, 124-pp.1-2 (2021) 

(18)   栗城美咲,佐藤翼,峯田貴, “高品質なTiNiCu 形状記憶合金の成膜手法の開発”, 日本機械学会東北学生会 50回学生員卒業研究発表講演会, 112-pp.1-2 (2021)

(19)   平将悟, 小入羽祐治, 峯田貴, “電子顕微鏡のための生体薄片の整列捕捉用MEMSチップの形成”, 50回学生員卒業研究発表講演会, 611-pp.1-2 (2021)

(20)   Ryo Saito, Yusuke Kimura, Jiale Xu, Takashi Mineta, “Fabrication of Tactile Display Using Arrayed SMA Film Actuator on Silicon TSV Substrate with Individually Conducting Diode”, 34th IEEE Int. Conf. on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE-MEMS 2021), pp. 709-711 on line (2021, 1.29) 査読付

 

2020

(21)   Ryo Saito, Yusuke Kimura, Jiale Xu, Takashi Mineta, “Fabrication of tactile display using arrayed SMA actuator on Si TSV substrate with individually conducting diode”, The 8th Int. Conf. on Smart Systems Eng. (SmaSys 2020) (2020.10. 29-30, Yonezawa, Japan) Abstract査読付

(22)   斎藤涼,木村 友翼,徐嘉楽,峯田 , “個別通電用Siダイオードを搭載したTSV基板とSMA厚膜アクチュエータを接合したアレイ型触覚ディスプレイの形成”, 37回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム, 26P3-SS1-4-pp. 01-04 (2020.10.26)  奨励賞受賞

(23)   斎藤涼,木村 友翼,徐嘉楽,峯田 , “個別通電用Siダイオードを搭載したTSV電極Si層とSMA厚膜アクチュエータアレイをもつ触覚ディスプレイの形成”, 日本機械学会年次大会, J13116 pp. 1-4 (2020.9.16)

(24)   斎藤涼,木村 友翼,徐嘉楽,峯田 , “SU-8基板接合を用いたSMA厚膜アクチュエータアレイ/個別通電用TSV電極構造の触覚ディスプレイ素子の形成”, 電気学会センサ・シクロマシン部門総合研究会, pp. 45-48 (2020.7.6)

(25)   J. Xu, Y. Kimura, K. Tsuji, K. Abe, T. Shimizu, H. Hasegawa, T. Mineta, Fabrication and characterization of SMA film actuator array with bias spring for high-power MEMS tactile display, Microelectronic Eng. 227. 111304-1-8 (2020)

(26)   Toru Yahagi, Hiroki, Murayama, Yoshiyuki Watanabe, Takashi Mineta, “Fabrication of MEMS mold with inclined micro-multi-fin structure and shape transfer to resin by thermal imprint process", J. Appl. Phys. Jpn, Vol. 59SIIJ02-01-07 (2020) 査読付

(27)   Hideyuki Mitsui, Hiroshi Kashiwazaki, Takashi Mineta, “PDMS Soft Skin Device with Deformable Micro-Diaphragm Array Fabricated with Rapid Substrate-Releasing Process”, J. Robotics and Mechatronics,, Vol. 32, No. 2, pp. 289-296 (2020) 査読付

(28)   斎藤涼,木村 友翼,徐嘉楽,峯田 , “個別通電用Siダイオードアレイを搭載したSMA厚膜型触覚ディスプレイの形成”, 日本機械学会東北学生会 49回学生員卒業研究発表講演会, (2020)

(29)   嘉楽, 野々村美宗, 峯田 , “種々サイズの凸構造をもつ周期的なSi マイクロ凹凸表面による触感の評価”, 電気学会論文誌E, Vol. 139 No. 12, pp. 393-399 (2020) 査読付 
R2年度電気学会東北支部優秀論文賞受賞(徐嘉楽)

 

2019

(30)   岡田 尚樹, 鈴木 広大, 峯田 , “FePd磁歪膜とPZT圧電膜を搭載した共振型MEMS磁気センサ”, 電気学会論文誌E 研究開発レター, Vol. 139. 11, p. 383-384 (2019) 査読付

(31)   木村 友翼, 丸山 , 嘉楽, 峯田 , “貫通電極Si基板型とSMA厚膜アクチュエータによる触覚ディスプレイの形成”, 36回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム, 21pm1-PS3-49-pp.01-04  (2019. 11. 20, 浜松)

(32)   矢作 , 村山 裕紀, 渡部 善幸, 峯田 , “MEMSプロセスを用いた斜め微細多段フィン構造の形成と樹脂への形状転写”, 36回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム, 21pm1-PS3-13-pp.1-4 (2019. 11. 20, 浜松)

(33)   村上 雄志, 三井 秀之, 佐藤 , 峯田 , “PDMSダイアフラム上へのマッシュルーム型ナノピラーアレイの形成”, 36回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム, 20pm3-PS3-22-pp.1-4 (2019. 11. 20, 浜松)

(34)   飯島 陽太, 増田 雄介, 田中 , 峯田 ,  “AlおよびNi薄膜の熱処理による塑性変形を用いた MEMSカンチレバーのたわみ調整法”, 36回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム, 20pm3-PS3-14-pp. 01-04 (2019. 11. 20, 浜松)

(35)   一樹, 嘉楽, 丸山 , 阿部 , 清水 智巨, 長谷川 博康, 峯田 , “触覚ディスプレイ用のNi厚膜バイアスばね/SU-8マイクロ機構の一括形成および剛性評価”, 36回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム, 20pm3-PS3-12-pp.01-04 (2019. 11. 20, 浜松)

(36)   嘉楽, 木村 友翼, 一樹, 阿部 , 清水 智巨, 長谷川 博康, 峯田 , “高出力触覚ディスプレイのための形状記憶合金厚膜アクチュエータアレイの形成および特性評価”, 36回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム, 19pm5-PS3-26-pp.01-04 (2019. 11. 19, 浜松)

(37)   丸山 , 一樹, 嘉楽, 木村 友翼, 阿部 , 清水 智巨, 長谷川 博康, 峯田 , “SU-8マイクロピン搭載型Ni膜バイアスばねアレイとSMA厚膜アクチュエータ接合による触覚ディスプレイ素子の形成”, 精密学会東北部講演会, B07-1-2, (2019.011. 9, 米沢)

(38)   矢作 , 村山 裕紀, 渡部 善幸, 峯田 , “MEMS技術を用いた極微細多段フィン構造の形成と樹脂への形状転写”, 精密工学会東北部講演会, B01-1-2 (2019.011. 9, 米沢)

(39)   H. Yahagi, Y. Murayama, Y. Watanabe, T. Mineta, “Fabrication of MEMS Mold with Inclined Micro-Multi-Fin Structure and Shape Transfer to Resin by Thermal Imprint Process”, Proc. 32nd Int. Microprocesses and Nanotechnology Conf. (MNC2019),  30P-6-9-pp. 1-2 (2019.10. 30, Hiroshima) Abstract査読

(40)   Yuji Murakami, Hideyuki Mitui, Tubasa Sato, Takashi Mineta, “Fabrication of mushroom-shape nano-pillar array on PDMS diaphragm using casting MEMS nano-mold”, SmaSys 2019 (2019.10.11, Yonezawa, Japan)

(41)   Masayuki Murakami and Takashi Mineta, Flash-Evaporation of High Cu Content TiNiCu and TiNiCo Shape Memory Alloy Films, SmaSys 2019 (2019.10.11, , Yonezawa, Japan)

(42)   J. Xu, Y. Kimura, K. Tsuji, K. Abe, T. Shimizu, H. Hasegawa, T. Mineta, “Fabrication and characterization of SMA thick film actuator array for high power tactile display”, 45th Int. Conf. on Micro Nano Eng. (MNE2019) (2019, 9. 25, Rhodes, Greece) Abstract査読

(43)   M. Tanaka, Y. Iijima, Y. Masuda, T. Sato, T. Mineta, “Adjustment method of MEMS dual-cantilever deflection using plastic deformation of metal thin film by thermal annealing”, 45th Int. Conf. on Micro Nano Eng. (MNE2019) (2019, 9. 25, Rhodes, Greece) Abstract査読

(44)   K. Tsuji, J. Xu, K. Abe, T. Shimizu, H. Hasegawa, T. Mineta, “Fabrication and characterization of arrayed micro-structure with Ni film springs and photolithographed SU-8 micro-pins for Tactile Display Device”, 45th Int. Conf. on Micro Nano Eng. (MNE2019) (2019, 9. 25, Rhodes, Greece) Abstract査読

(45)   木村 友翼, 一樹, 梁取 , 峯田 , 阿部 , 岩崎 健二, "個別動作型の形状記憶合金厚膜アレイ触覚ディスプレイ素子の形成", 電気学会論文誌E, Vol. 139, No. 9, p.329-334 (2019) 査読付

(46)   村上雄志, 三井秀之, 佐藤翼, , “濡れ性可変ダイアフラム上へのPDMSマッシュルーム型ナノピラーアレイの形成”, 電気学会センサ・シクロマシン部門総合研究会,  pp. 27-30 (2019.7.1) 査読なし

(47)   飯島陽太, 雄介, , , “属薄膜の熱処理による塑性変形をいたMEMSカンチレバーのたわみ調整法”, 電気学会センサ・シクロマシン部門総合研究会, pp. 31-34 (2019.7.1) 査読なし

(48)   , 徐嘉楽, 阿部喜, 智巨, ⻑⾕川博康, , “触覚ディスプレイNi薄膜バイアスばねおよびSU-8マイクロ機構の括形成と剛性評価”, 電気学会センサ・シクロマシン部門総合研究会, pp. 89-92 (2019.7.2)査読なし

(49)   徐嘉楽, 村友翼, 辻一樹, 阿部喜, 智巨, ⻑⾕川博康, , “触覚ディスプレイのための形状記憶合厚膜アクチュエータアレイの形成”, 電気学会センサ・シクロマシン部門総合研究会, pp. 93-96 (2019.7.2)査読なし

(50)   村友翼, , 徐嘉楽, , “貫通裏電極をもつ形状記憶合厚膜アクチュエータ型触覚ディスプレイの形成”, 電気学会センサ・シクロマシン部門総合研究会, pp. 97-100 (2019.7.2)査読なし

(51)   矢作徹,村山裕紀,渡部善幸, 峯田貴, “MEMSプロセスを用いた斜め多段フィン構造の形成と構造転写の検討”, 表面技術協会第139回講演大会予稿集 (2019)

(52)    飯島 陽太, 増田 雄介, 振瑞, 峯田 , “Al 薄膜の熱処理による塑性変形を用いたたわみ調整法とデュアルAFM カンチレバーへの応用”, 日本機械学会東北学生会 49回学生員卒業研究発表講演会, pp. 108-1-2 (2019.3.5)

(53)   村上誠幸, 峯田貴, “形状記憶合金フラッシュ蒸着膜の膜厚方向の組成均一性の向上”, 日本機械学会東北学生会 49回学生員卒業研究発表講演会, pp. 502-1-2 (2019.3.5)

(54)   丸山顕, 木村友翼, 徐嘉楽, 峯田貴, “Si 基板貫通配線へ SMA 厚膜アクチュエータを接合した触覚ディスプレイ”, 日本機械学会東北学生会 49回学生員卒業研究発表講演会, pp. 606-1-2  (2019.3.5)

(55)    Jinseo Hong, Yusuke Masuda, Yoshitaka Miura, Takayuki Shibata, Takashi Mineta, “Fabrication Process of Embedded Silicon Microchannel and Nozzle Structure for Liquid-delivering Atomic Force Microscopy Probe”, Sensors and Materials, Vol. 31, No. 2(3), pp. 595-605 (2019) 査読付表紙に電顕画像が採用

(56)   Hiroshi Yanatori, Kazuki Tsuji, Konomu Abe, Kenji Iwasaki, Takashi Mineta, “Fabrication and Characterization of an Arrayed Shape Memory Alloy Thick Film Actuator Device for Planar Tactile Display, Trans. IEEJ-E, Vol. 139, No.1 pp. 15-20 (2019) 査読付

 

2018

(57)   村上 雄志, 三井 秀之, 佐藤 , 峯田 , "濡れ性可変PDMSダイアフラムへのアレイ状のナノピラーおよびマッシュルーム型ナノピラー構造の形成", 表面技術協会・腐食防食学会東北支部講演会, pp. 7-8 (2018)   優秀講演賞受賞

(58)   矢作徹, 村山裕紀,渡部善幸,MEMSプロセスを用いた微細多段フィン構造の形成”, 表面技術協会・腐食防食学会東北支部講演会, (2018)

(59)   矢作徹、村山裕紀、阿部泰、村上穣、岩松新之輔、加藤睦人、渡部善幸, 峯田貴, “MEMSプロセスを用いた微細多段フィン構造の形成と樹脂への形状転写”, 35回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム, 31pm2-PS-110 pp.01-04 (2018.10.31)

(60)    木村 友翼, 一樹, 梁取 , 峯田 , 阿部 , 岩崎 健二, "個別動作型の形状記憶合金厚膜アレイ触覚ディスプレイ素子の形成", 35回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム, 30pm4-PS-28 pp.01-04 (2018.10.30)

(61)   岡田 尚樹, 鈴木 広大, 峯田 , “FePd磁歪膜とPZT圧電膜を搭載した共振型MEMS磁気センサ”, 35回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム, 31pm-PS-128 pp.01-04 (2018.10.31)

(62)     一樹, 阿部 , 清水 智巨, 長谷川 博康, 峯田 ,  "マイクロピンとフレーム構造を一括形成した触覚ディスプレイ用Ni薄膜平型ばねの作製と剛性評価", 日本機械学会 26回機械材料・材料加工技術講演会(M&P2018), PP. 662-664 (2018.11.3)

(63)    村上 雄志, 三井 秀之, 佐藤 , 峯田 , "可動凹凸撥水デバイス用 PDMSダイアフラムへのナノピラーとマッシュルーム 構造の形成", 日本機械学会 26回機械材料・材料加工技術講演会(M&P2018), PP. 665-667 (2018.11.3)

(64)    Y. Masuda, J. Hong, T. Mineta, "Batch-Fabrication of Silicon AFM Probe with Liquid Delivering Micro-Structure near The Cantilever", SmaSys 2018, pp. 73 (2018.10.11)

(65)    Yusuke Kimura, Kazuki Tsuji, Konomu Abe, Kenji Iwasaki and Takashi Mineta, "Fabrication and Characteristics of Shape Memory Alloy Arrayed Thick Film Actuators with Individual-Actuation-Type Tactile Display Device", SmaSys2018, PO-6  (2018.10.11, Yonezawa, Japan)

(66)    Kazuki Tsuji, Konomu Abe, Tomomi Shimizu, Hiroyasu Hasegawa and Takashi Mineta, “Fabrication and Characterization of Arrayed Ni Thin Film Bias Springs with SU-8 Micro-Pin structure for Tactile Display Device", SmaSys 2018, PP. 58(CL-15) (2018.10.12, Yonezawa, Japan) Oral presentation

(67)    Y. Kimura, K. Tsuji, K. Abe, Y. Ono, T. Mineta, “Fabrication of tactile display with individual-driving shape memory alloy thick film actuator array”, 44th Int. Conf. on Micro Nano Eng. (MNE2018) (2018, 9. 25, Copenhagen, Denmark)

(68)   J. Xu, J. Gong, H. Furukawa, Y. Nonomura, T. Mineta, “Characterization of tactile sensation of deformable surface with micro-bump structure” , 44th Int. Conf. on Micro Nano Eng. (MNE2018) (2018, 9. 25, Copenhagen, Denmark)

(69)    J. Hong, K. Mishina, T. Mineta, “Fabrication of a switchable dual AFM cantilever through a large deflection using magneto-strictive film”, Trans. IEEJ-E. Vol. 138 No. 9pp.412-416 (2018) 10.1541/ieejsmas.138.412

(70)    徐嘉楽、野々村美宗、峯田貴、種々サイズの凸構造をもつ周期的なSiマイクロ凹凸表面による触感の評価”, 電気学会センサ・シクロマシン部門総合研究会 (2018)

(71)    木村友翼, 辻一樹, 梁取大, 阿部喜, 小野泰弘, 峯田貴, “形状記憶合金厚膜アレイによる個別動作型触覚ディスプレイ素子の開発”, 48回日本機械学会東北支部学生会 (2018, 3. 7)

(72)    村上雄志, 三井秀之, 峯田貴, “PDMS表面へのナノピラーパターニングと濡れ性切り替えデバイスへの応用”, 48回日本機械学会東北支部学生会 (2018, 3. 7)

(73)    Jinseo Hong, Yusuke Masuda, Takashi Mineta, "Fabrication of a 3D nano-printing device", Proc. SPIE 10597, Nano-, Bio-, Info-Tech Sensors, and 3D Systems II, 105971A (23 March 2018)

(74)   Naoki Okada, Takashi Sasabuchi, Kunihiro Koike, And Takashi Mineta, “MEMS Magnetic Sensor with Bridge-Type Resonator and Magnetostrictive Thin Film” Electronics and Communications in Japan, Vol. 101, No. 3, pp. 90-95 (2018) 

 

2017 

(75)   峯田貴、辻一樹、梁取大、日吉健太、小野泰弘、阿部喜、”SU8微細機構/形状記憶合金厚膜アクチュエータアレイ型触覚ディスプレイ素子形成と動作特性評価“, 34回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム, 01pm4-PS-142, pp.01-04 (2017) 

(76)     洪振瑞, 三品和樹, 峯田貴, “磁歪膜を用いた大変位切替型デュアルAFM カンチレバーの形成 , 34回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム, 31am3-PS-39 pp.01-04 (2017)

(77)    Jinseo Hong, Kazuki Mishina, Takashi Mineta, “Fabrication and characterization of dual AFM cantilever with magneto-strictive film designed for large deflection”, 43th Int. Conf. on Micro Nano Eng. (2017)

(78)   T. Mineta, R. Sato, T. Kamada, “Micro Robotic Finger Device with Thick Shape-memory-alloy/Ti Bimorph Structure”, 43th Int. Conf. on Micro Nano Eng. (2017)

(79)   増田雄介, 洪振瑞,三浦嘉隆,佐藤翼,峯田貴, “流体デリバ用AFMカンチレバーの埋込型流路閉合とSi探針形状への影響”, 日本機械学会東北支部第53期秋季講演会講演論文集, pp. 302-1-2 (2017)

(80)    Takashi Mineta, Hiroshi Yanatori, Kenta Hiyoshi, Kazuki Tsuji, Yasuhiro Ono, Konomu Abe, “Tactile Display MEMS Device with SU8 Micro-pin and Spring on SMA Film Actuator Array”, 19th Int. Conf. on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2017), pp. 2031-2034 (2017)  Outstanding paper Award Finalist  (発表者・辻一樹) 

(81)   岡田尚樹, 笹渕貴史, 小池邦博, 峯田貴, “ブリッジ構造の共振子と磁歪膜をもつMEMS磁気センサ”, 電気学会論文誌E, Vol.137, .No. 8, pp. 234-238 (2017)

(82)      洪振瑞, 増田雄介, 三浦嘉隆, 柴田隆行, 峯田貴, “洪液輸送用のデュアルシリコンAFMプローブのためのマイクロ流路とノズル形成”, 電気学会研究会MSS17-006, pp. 15-16 (2017)

(83)    Takashi Mineta, Kenta Kawashima, Ryoga Taguchi, “Fabrication and characterization of dual AFM probe with narrow-gapped silicon tips and switchable cantilevers with magneto-strictive FePd film actuator”, Microelectronic Engineering 168 (2017) pp. 45–49.

(84)    増田雄介, 峯田貴, 洪振瑞,, 三品和樹, 佐藤翼, ”液体デリバリ用AFMプローブのためのシリコンマイクロ流路とノズル形成47回機械学会東北支部学生会, pp. 12-13 (2017)

(85)    日吉健太, 梁取大, 辻一樹, 阿部喜, 峯田 , “厚膜レジスト製マイクロピンアレイ/形状記憶合金厚膜型の触覚提示素子形成と動作特性評価”, 47回機械学会東北支部学生会, pp. 10-11 (2017)

(86)    八島章太郎, 峯田貴, “チューブ型マイクロアクチュエータ作製のための円筒リソグラフィプロセスの基礎的な研究47回機械学会東北支部学生会, pp. 8-9 (2017)

(87)   長谷川 , 日吉 健太, 岡田 尚樹, 工藤 ,峯田 , “さくらんぼ収穫動作の力覚センシングシステムの研究”, 47回機械学会東北支部学生会, pp. 206-207 

 

2016

(88)    梁取大, 阿部喜, 小野泰弘, 峯田貴, “形状記憶合金厚膜アクチュエータとSU8ばねを用いたアレイ状超薄型触覚ディスプレイ”, 33回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム, 25am2-LN-209 (pp. 1-2) (2016) 優秀ポスター賞受賞

(89)   岡田尚樹, 笹渕貴史, 小池邦博, 峯田貴, “ブリッジ構造の共振子と磁歪膜をもつMEMS磁気センサ”, 33回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム, 25am2-PS-041 (pp. 1-4) (2016)

(90)    三井秀之, 峯田貴, “PDMSを用いた透明な可変マイクロ凹凸デバイスの形成と動的な濡れ特性の評価”, 33回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム, 25pm4-PS28 (pp. 1-4) (2016)

(91)    佐藤諒,鎌田隆宏,峯田貴, “生体膜操作用の可逆動作機構をもつ形状記憶合金厚膜マイクログリッパ”, 電気学会論文誌E, Vol.136, .No.10, pp. 454-459 (2016)

(92)    徐嘉楽,野々村美宗,峯田貴, “エッチングにより形成したSi表面の微細周期構造による手触り感と摩擦の評価”, , 電気学会論文誌E, Vol.136, .No.10, pp. 432-436 (2016)

(93)    笹渕貴史, 岡田尚樹, 佐藤翼, 小池邦博, 峯田貴, “FePdスパッタ磁歪膜への熱処理効果のMEMSカンチレバーを用いた評価”, 電気学会論文誌E, Vol.136, .No. 9, pp. 408-412 (2016)

(94)   三品和樹, 三浦嘉隆, 川島健太, 峯田貴, “Siナノ探針の先鋭化と近接デュアルAFMプローブの形成”, 電気学会論文誌E, Vol.136, .No.7, pp. 312-318 (2016)

(95)    三井秀之, 峯田貴, “透明なPDMSを用いた可変凹凸表面意おける濡れ製の評価と空気の挙動の解明”, 表面技術協会第134回講演大会要旨集, 1D-04-PP. 1-2

(96)    Takashi Sasabuchi, Naoki Okada, Kunihiro Koike, Takashi Mineta, “MEMS Magnetic Sensor with Bridge-type Resonator and Magneto-strictive thin film”, Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT 2016), PP. 241-242

(97)    Yoshitaka Miura, Jin-seo Hong, Kazuki Mishina, Takayuki Shibata and Takashi Mineta “Fabrication of micro-channel and nozzle in narrow-gapped AFM dual Si probe”, Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT 2016), PP. 233-234

(98)    Haruna Sawaguchi, Jiale Xu, Takahiro Kawai, Takashi Mineta and Yoshimune Nonomura, “Formation process of apatite layer on titanium-coated silicon wafer surfaces”, J. Ceramic Soc. Jpn, Vol. 124 [6], pp. 753-756 (2016)

(99)    T. Mineta, “Dual-AFM Probes as An Imaging and In-situ Molecular Operation Tool”, IEEE-NEMS 2016, C2L-F-1, (2016) Invited

(100)    J. Hong, H. Sugo, T. MinetaI. Kakizaki, “Aminosilane patterning on substrate surface by PDMS soft stamp for proteoglycan molecular immobilization”, IEEE-NEMS 2016, A2L-D-4 (2016)

(101)     H. Yanatori, T. Mineta, S. Takeuchi, K. Abe, “A Shape Memory Alloy Thick Film Actuator Array for Narrow Pitched Planar Tactile Display Device”, IEEE-NEMS 2016, B1L-A-3 (2016)

(102)     三井秀之, 峯田貴, “可変マイクロ凹凸表面を持つ透明PDMSデバイスの形成と動的な濡れ特性の評価” , 電気学会全国大会, 3-130 (2016)

(103)     岡田尚樹, 笹渕貴史, 佐藤翼, 小池邦博, 峯田貴, “熱処理によるFePd合金膜の磁歪特性向上とMEMS磁気デバイスへの応用”, 45回機械学会東北支部学生会 (2016)

(104)     西澤彩花, 峯田貴, 佐藤将吾, 鈴木佑也, 佐々木成海, 妻木勇一, 工藤信, “さくらんぼ収穫ロボットのための力覚センシングシステムの基礎的な研究”, 45回機械学会東北支部学生会 (2016)

(105)     三井秀之,峯田貴, “可変マイクロ凹凸表面を持つ透明PDMSスキンの形成と動的な濡れ挙動の評価", 45回機械学会東北支部学生会 (2016)

(106)     須郷秀治,洪振瑞,柿崎育子,峯田貴, “APTES蒸気処理によるマイクロパターン状の基板表面修飾とプロテオグリカン分子固定化” , 45回機械学会東北支部学生会 (2016)

 

2015 

(107)     H. Yanatori, T. Mineta, “Shape memory alloy thick film micro-actuator array for MEMS tactile display device”, 25th Annual Meet. Of MRS-Japan, A3-O9-007 (2015)

(108)     T. Sasabuchi , N. Okada , T. Satoh, K. Koike, T. Mineta, “Annealing Effect on FePd Magneto-strictive Film on Si MEMS Cantilever”, 25th Annual Meet. Of MRS-Japan, MRS A3-O9-008 (2015)

(109)    K. Kawashima, E. Makino, T. Mineta, Trans. Electronics and Communications in Jpn. Vol. 98, No. 12, pp. 30-36 (2015)

(110)    徐嘉楽,野々村美宗,峯田貴, “エッチングにより形成したSi表面の微細周期構造による手触り感と摩擦の評価”, 32回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム, 30am2-PS-046  (pp. 1-4) (2015)

(111)       梁取大,峯田貴, “形状記憶合金厚膜アクチュエータを用いた触覚ディスプレイの開発”, 32回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム, 30am2-PS-044 (pp. 1-4) (2015) 

(112)    佐藤諒,鎌田隆宏,峯田貴, “生体膜操作用の可逆動作機構をもつ形状記憶合金厚膜マイクログリッパ”, 32回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム, 29pm3-PS-029 (pp. 1-4) (2015) 

(113)    笹渕貴史,岡田尚樹,佐藤翼,小池邦博,峯田貴, “FePdスパッタ磁歪膜への熱処理効果のMEMSカンチレバーを用いた評価”, 32回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム, 29pm3-PS-017 (pp. 1-4) (2015) 

(114)    三品和樹,三浦嘉隆,川島健太,峯田貴, “Siナノ探針の先鋭化と近接デュアルAFMプローブの形成”, 32回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム, 28pm3-B-3 (pp. 1-4) (2015) 

(115)    三浦嘉隆,三品和樹,川島健太,佐藤翼,柴田隆行,峯田貴, “デュアルAFM探針中空化のためのSiカンチレバー流路形成プロセスの開発”, 32回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム, 30am2-PS-134 (pp. 1-2) (2015) 

(116)    洪振瑞,柿崎育子,須郷秀治,峯田貴, “PDMSソフトスタンプによる基板表面のアミノシラン化パターン形成とプロテオグリカン分子固定化”, 7回マイクロナノ工学シンポジウム, 30am2-PN-004 (pp. 1-4) (2015) 

(117)    佐藤諒,鎌田隆宏,佐藤翼,峯田貴, “高真空連続フラッシュ蒸着法によるTiNiCu形状記憶合金膜の厚膜形成と膜質評価”, 7回マイクロナノ工学シンポジウム, 29pm3-PN-055 (pp. 1-2) (2015) 

(118)    T. Mineta, K. Kawashima, R. Taguchi, “Fabrication and characterization of dual AFM probe with narrow-gapped silicon tip and switchable cantilevers with magneto-strictive FePd film actuator”, 41th Int. Conf. on Micro Nano Eng. (2015) 

(119)    Jiale Xu , Yoshimune Nonomura, Takashi Mineta, “Silicon micro-bump arrays for presentation of rough and frictional tactile sensations”, 3rd Int. Conf. Smart Sys. Eng. (2015) 

(120)    西澤彩花, 峯田貴, 佐藤将吾, 鈴木佑也, 佐々木成海, 妻木勇一, 工藤信, “さくらんぼ収穫動作のフォースおよびトルクセンシング”, 計測自動制御学会東北支部 297回研究集会, 291-10 (pp.1-4) (2015)

(121)    笹渕貴史, 峯田貴, “シリコンMEMSカンチレバー上のFePd磁歪薄膜の熱処理と特性評価”, 日本機械学会2015年次大会論文集, pp. J2220103-01-02 (2015)

(122)    峯田貴, 鎌田隆宏, “生体膜操作用の高剛性型SMA厚膜マイクログリッパの形成”, 日本機械学会2015年次大会論文集, pp. J2230201-01-02 (2015) 

(123)    峯田貴, 細川優, 井坂秀治, “ワイヤプーリ駆動のための共振型ワイヤ張力センシング機構の基礎的な研究”, 日本機械学会2015年次大会論文集, pp. J1610104-01-02 (2015) 

(124)    洪振瑞, 峯田貴, 柿崎育子, ”PDMSソフトスタンプによる基板表面のアミノシラン化パターニングとプロテオグリカン分子固定化”, 日本機械学会東北支部第50期総会・講演会論文集, pp.263-264 (2015) 

(125)    三品和樹, 三浦嘉隆, 峯田貴, 佐藤翼, “先鋭SiデュアルAFM探針の形成と評価”, 45回機械学会東北支部学生会講演論文集, pp. 37-38 (2015)

(126)    梁取大, 峯田貴, “触覚ディスプレイ用SMA厚膜アクチュエータアレイの形成” , 45回機械学会東北支部学生会講演論文集, pp. 39-40 (2015) 

(127)    細川優, 峯田貴, 井坂秀治, “ワイヤプーリ駆動における共振型ワイヤ張力センシング機構の基礎的な研究”, 45回機械学会東北支部学生会講演論文集, pp. 41-42 (2015)  独創研究学生証受賞 (発表者:細川優) 

(128)    佐藤涼, 峯田貴, 鎌田隆宏, 佐藤翼, “柔軟なTiNiCu形状記憶アクチュエータ厚膜フラッシュ蒸着”, 45回機械学会東北支部学生会講演論文集, pp. 69-70 (2015) 

(129)    徐嘉楽, 峯田貴, 佐藤翼, 野々村美宗, “マイクロ凹凸デバイスの表面形状による触感への効果”, 45回機械学会東北支部学生会講演論文集, pp. 71-72 (2015)

 

2014

(130)    峯田 , 小林翔太, 小林 誠也, “可動マイクロ凹凸デバイスの形成と動的な濡れ特性評価”, 31センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム”, 21pm3-PS032(pp.1-4) (2014)

(131)    峯田 , 川島 健太, 田口涼雅, ”近接シリコン探針とFePd磁歪膜アクチュエータを搭載したデュアルAFMカンチレバー形成と動作特性評価”, 6回マイクロナノ工学シンポジウム, 20pm1-E4 (pp.1-2)  (2014)

(132)    鎌田隆宏, 峯田貴, “生体材料シート操作用のフラッシュ蒸着SMA厚膜を用いたマイクログリッパの形成, 6回マイクロナノ工学シンポジウム, 20pm1-E5 (pp.1-2)  (2014)

(133)    峯田貴, ”スマート材料によるMEMSデバイス”, 化学系学協会東北大会講演予稿集, p.65 (2014) 招待講演

(134)    広島美咲, 松永忠雄, 峯田貴, 芳賀洋一, “陽極接合可能なセラミック貫通配線基板を用いた静電駆動型超音波トランスデューサ”, 電気学会論文誌E, Vol. 134, No. 10, pp. 333-337 (2014)

(135)    峯田貴, 西方孝志, 西山宏昭, 川島貴弘, 柴田隆行, 岡崎貞子, 古屋泰文, “磁歪膜/圧電膜を積層した共振型MEMS磁気センサ”, 日本設計工学会秋季大会研究発表講演会講演論文集, pp.115-116 (2014)

(136)    三浦嘉隆, 峯田貴, 三品和樹, 川島健太, “近接デュアルAFM探針先端の先鋭化プロセスの検討”, 日本設計工学会秋季大会研究発表講演会講演論文集, pp.109-110 (2014)

(137)    鎌田隆宏, 峯田貴, “生体膜操作用のSMA厚膜マイクログリッパの力学的設計と形成”, 日本設計工学会秋季大会研究発表講演会講演論文集, pp.105-106 (2014)

(138)    T. Mineta, ”Dual AFM probe for imaging and in-situ mechanical operation”, IEEE Int. Nano Electronics Conf. (INEC), pp.01-03 Sapporo, Japan (2014) Invited

(139)    T. Mineta, A. Sugai, R. Kazama, Y. Tsumaki, “Characterization of Environmental-driven Thermal Buckling Actuator for an Asteroid Exploration Rover”, Int. Symp. on Artificial Intelligence, Robotics and Automation in Space (i-SAIRAS2014), Montreal, Canada, 2014

(140)    西方孝志, 峯田 貴, 川島貴弘,  柴田隆行, 岡崎貞子, 古屋泰文, “磁歪膜を積層した共振型MEMS磁気センサ”, 機械学会ロボットメカトロニクス講演 (2014)

(141)    菅井敦久, 峯田貴, 妻木勇一, 風間亮, 吉光徹雄, 久保田孝, 矢野創, 黒田洋司, 足立忠司, “環境温度駆動型の座屈アクチュエータによる微小重力落下試験用ローバーの跳躍特性評価”, 機械学会ロボットメカトロニクス講演 (2014)

(142)    峯田 , 菅井敦久, 風間 , 妻木勇一, “小惑星探査ローバー用の環境温度駆動バイメタル座屈アクチュエータの特性評価”, 機械学会ロボットメカトロニクス講演 (2014)

(143)    三浦 嘉隆, 峯田 貴, 佐藤 翼, “高加速EBリソグラフィによる薄膜ナノ電極対の形成とヒアルロン酸分子捕捉への応用”,  44回機械学会東北支部学生会, pp. 129-130 (2014)

(144)    小林 翔太、小林 誠也、峯田 , “マイクロ可変凹凸デバイスの形成と動的な濡れ特性評価”, 44回機械学会東北支部学生会, pp. 121-122 (2014)

(145)    田口涼雅,川島健太,西方孝志,峯田貴,磁歪薄膜積層MEMSカンチレバーの形成とデュアルAFMプローブへの応用 44回機械学会東北支部学生会, pp. 127-128 (2014)

(146)    Kenta Kawashima, Eji Makino, Takashi Mineta, " Fabrication of narrow-gapped dual Si AFM tips by mechanically polishing-back for selective trench sidewalls protection". Trans. IEEJ. Vol.134. No.4, pp. 74-78 (2014)

(147)    川島 健太, 峯田 貴, 牧野 英司, 川島 貴弘, 柴田隆行, “SiトレンチのSOG埋込による近接デュアルAFM探針とNi積層デュアルカンチレバーの作製”, 電気学会論文誌E, Vol.134.No.4pp.90-95 (2014)

(148)    Ikuko Kakizaki, Takashi Mineta, Mana Sasaki, Yota Tatara, Eiji Makino, Yoji Kato, “ Biochemical and atomic force microscopy characterization 1 of salmon nasal cartilage proteoglycan”, Carbohydrate Polymers, Vol. 103 pp. 538– 549 (2014)

 

2013

(149)    峯田 , 長澤 崇弘, 柏崎 浩史, 小林 誠也, “可変マイクロ凹凸表面をもつ濡れ性可変デバイスの形成30回センサマイクロマシンと応用システム, 5PM3-PSS-017 (pp.1-4) (2013)

(150)    川島 健太, 峯田 貴, 牧野 英司, 川島 貴弘, 柴田隆行, “SiトレンチのSOG埋込による近接デュアルAFM探針とNi積層デュアルカンチレバーの作製”, 30回センサマイクロマシンと応用システム6PM3-PSS-042 (pp.1-4) (2013)

(151)    広島 美咲,松永 忠雄,峯田 貴,芳賀洋一, “陽極接合可能なセラミック貫通配線基板を用いた静電駆動型超音波トランスデューサ”, 30回センサマイクロマシンと応用システム5PM1-A-6 (pp.1-4) (2013)

(152)    西方孝志, 峯田貴, 田口涼雅, 川島健太, “シリコンMEMSカンチレバー上に成膜した高配向磁歪薄膜の特性評価”, 5回マイクロナノ工学シンポジウム, pp. 73-74 (2013)

(153)    笹渕貴史,峯田貴, “MEMSカンチレバーアレイを用いたコンビナトリアル法によるFe-Pd合金膜の磁歪特性評価”, 5回マイクロナノ工学シンポジウム, pp.201-202 (2013)

(154)    鎌田隆宏, 峯田貴, “形状記憶合金厚膜形成のための高真空フラッシュ蒸着装置の開発”, 5回マイクロナノ工学シンポジウムpp.71-72 (2013)

(155)    K. Kawashima, T. Okazaki, Y. Furuya, E. Makino, T. Mineta, “Fabrication of ultra-narrow-gapped dual AFM tip and silicon dual cantilever with magneto-strictive thin film actuator”, 39th Int. Conf. on Micro Nano Eng. (2013)

(156)    T. Shibata, K. Nakamura, S. Hoiike, M. Nagai, T. Kawashim, T. Mineta, E. Makino, “Fabrication and Chacterization of Bioprobe Integrated with A Hollow Nanoneedle for AFM Application in Cellular Function Analysis”, Microelectronic Eng., Vol. 111 pp. 325-331 (2013)

(157)    T. Mineta, T. Nagasawa, H. Kashiwazaki, S. Kobayashi, “Fabrication of deformable PDMS surface for surface wettability control”, 39th Int. Conf. on Micro Nano Eng. (2013)

(158)    T. Shibata, M. Banno, Y. Ito, M. Nagai, T. Kawashima, T. Mineta, E. Makino, “Novel Approach for Intracellular Delivery of Biomolecules Using Bioprobe Integrated with Hollow Nanoneedle”, 39th Int. Conf. on Micro Nano Eng. (2013)

(159)    峯田貴, 工藤真也, 牧野英司, “形状記憶合金チューブ型マイクロねじりアクチュエータおよび同軸バイアス機構の形成”, 電気学会論文誌E, Vol. 133, No.7, pp. 297-302 (2013)

(160)    A. Sugai, Y. Tsumaki, R. Tadakuma, T. Mineta, “Development of environmental temperature driven buckling actuator for an asteroid exploration rover”, 3rd Int. Conf. on Asia Arab Sustainable Energy Forum (AASEF 2013)

(161)    T. Mineta, “MEMS sensors and actuators with smart materials”, 3rd Int. Conf. on Asia Arab Sustainable Energy Forum (AASEF 2013) Invited.

(162)    峯田 貴,洪振瑞,柿崎育子, “プロテオグリカン分子選択固定化のための基板表面パターン処理の検討”, 表面技術協会第127回講演大会要旨集, 57 (2013)

(163)    峯田 貴,佐々木愛,牧野英司, “基板表面へのプロテオグリカン分子転写のためのソフトスタンプ形成”, 表面技術協会第127回講演大会要旨集, pp. 58-59 (2013)

(164)    菅井敦久,峯田貴,妻木勇一,多田隈理一郎, “小惑星探査ローバ用の環境温度駆動型座屈ばねアクチュエータの開発”, 43回機械学会東北支部学生会, pp. 161-162 (2013)

(165)    鎌田隆宏, 峯田貴, “形状記憶合金厚膜形成のための高真空フラッシュ蒸着装置の開発”, 43機械学会東北支部学生会, pp. 157-158 (2013)

(166)    笹渕貴史, 峯田貴, “MEMSカンチレバーを用いた磁歪合金スパッタ膜の特性評価”, 43機械学会東北支部学生会, pp. 59-60 (2013)

(167)    長澤崇弘, 峯田貴, “マイクロ可変凹凸表面を用いた濡れ性切り替えデバイスの形成”, 43機械学会東北支部学生会, pp. 171-172 (2013)

 

2012

(168)    菅井敦久,妻木勇一,多田隈理一郎,峯田貴, “小惑星探査ローバ用の環境温度駆動型座屈ばねアクチュエータの提案”, 精密工学会東北支部学術講演会論文集, pp. 23-24 (2012)

(169)    川島健太,峯田貴, スピンオングラスによるトレンチ埋め込みと化学的表面研磨を用いた近接デュアルAFM探針の作製”, 精密工学会東北支部学術講演会論文集, pp. 11-12 (2012)

(170)    T. Mineta, K. Kawashima, Eiji Makino, “Fabrication of narrow-gaped dual AFM tip with novel self-align silicon nano-machining process”, 38th Int. Conf. on Micro Nano Eng. (2012)

(171)    峯田貴, 工藤真也, 牧野英司, “形状記憶合金チューブ型マイクロねじりアクチュエータおよび同軸バイアス機構の形成29回センサマイクロマシンと応用システム, pp. 525-528 (2012)

(172)    川島健太, 岡崎禎子, 古屋泰文, 牧野英司, 峯田 , “トレンチ埋め込みと表面研磨プロセスによる近接デュアルAFM探針の形成”, 29回センサマイクロマシンと応用システム, pp. 584-587 (2012)

(173)    西方孝志, 岡崎禎子, 古屋泰文, 牧野英司, 峯田 , “高感度磁気センサのための磁歪膜積層型MEMSカンチレバーの形成29回センサマイクロマシンと応用システム, pp. 588-591 (2012)

(174)    峯田貴, 竹内博子, 牧野英司, “Al薄膜ナノ電極対へのヒアルロン酸分子の捕捉と再溶解挙動の評価”, 23回バイオフロンティア講演会論文集, pp. 99-100 (2012)

(175)    川島健太, 岡崎禎子, 古屋泰文, 峯田貴, “生体高分子観察および加工のための近接AFM探針と薄膜磁気アクチュエータ積層型デュアルMEMSカンチレバーの形成”, 23回バイオフロンティア講演会論文集, pp. 101-102 (2012)

(176)    峯田貴, 柏崎浩史, 牧野英司, 小林誠也, “可変マイクロ凹凸表面を持つPDMS能動撥水スキンの形成”, 日本機械学会2012年次大会論文集、J164014-01-02 (2012)

(177)    Y. Tsumaki, T. Akaike, T. Mineta, R. Tadakuma, “Environment-driven rover for asteroid exploration”, Int. Symp.on Artificial Intelligence, Robotics and Automation in Space (i-SAIRAS), Turin, Italy, 2012

(178)    西方孝志, 峯田貴, 岡崎禎子, 古屋泰文, 牧野英司, “磁気センサのためのFePd膜を積層したMEMSカンチレバーの形成日本機械学会2012年次大会論文集、J161016-01-02 (2012)

(179)    川島健太, 峯田貴, 岡崎禎子, 古屋泰文, 牧野英司, “FePd磁歪膜を積層したデュアルカンチレバーの形成と近接デュアルニードル構造の形成”, 日本機械学会2012年次大会論文集、J161021-01-02 (2012)

(180)    T. Mineta, “MEMS devices for bio-medical applications”, Int. Workshop on Progress of Materials for Smart System (2012) Invited talk

(181)    Takashi Mineta, Yusuke Sado, Eiji Makino, Teiko Okazaki and Yasubumi Furuya, “Fabrication and Characterization of Silicon MEMS Cantilever with FePd Ferromagnetic Shape Memory Alloy Film”, Int. Workshop on Piezoelectric Materials and Applications (2012)

(182)    峯田 貴,川島健太,西方孝志, 牧野 英司,三上是右, 岡崎 禎子,古屋 泰文、“Si基板上へスパッタ形成したFePd磁性形状記憶合金膜の特性評価 表面技術協会第125回講演大会要旨集, 229 (2012)

(183)    佐々木愛,成田学人,小山崇宣,牧野英司,小林誠也,峯田貴, “マイクロ化学分析システムのための微小液滴の移送および混合”, 表面技術協会第125回講演大会要旨集, pp.267-268 (2012)

(184)    小林誠也,牧野英司,中道竜太郎,佐々木愛,峯田貴, “感光性エポキシ樹脂SU-8を用いた微細2段階ピラー構造の形成とそのはっ水特性”, 表面技術協会第125回講演大会要旨集, 266 (2012)

(185)    川島健太, 峯田貴, 岡崎禎子, 古屋泰文, “磁歪膜を積層した近接デュアルAFMプローブの形成”,  機械学会東北支部学生会, pp.264-265 (2012)

(186)     西方孝志, 峯田貴, 岡崎 禎子, 古屋 泰文, “磁歪効果を用いたメカニカルなマイクロ磁気センサの基礎研究”, 機械学会東北支部学生会, pp. 226-227 (2012) 

(187)    柏崎 浩史, 峯田 , 小林 誠也, 牧野 英司, “液滴操作のための可変マイクロ凹凸構造を持つ撥水表面の形成”, 機械学会東北支部学生会, pp.272-273 (2012)

 

2011

(188)    峯田 貴,工藤真也,牧野英司, “同軸バイアス機構をもつ形状記憶合金チューブ型マイクロねじりアクチュエータの形成”, 日本機械学会東北支部第47回秋期講演会論文集, 340

(189)    峯田 貴,佐渡 祐介,川島健太,西方孝志,牧野 英司,岡崎 禎子,古屋 泰文, “FePd磁気形状記憶合金を薄膜したSi-MEMSカンチレバー形成と変形特性評価”, 日本機械学会東北支部第47回秋期講演会論文集, 341

(190)    峯田 , 小林誠也, 牧野英司, “能動撥水スキンのためのPDMS微細可変凹凸構造の形成”, 日本機械学会東北支部第47回秋期講演会論文集, 351

(191)    小林誠也, 岩松新之助, 矢作徹, 渡部善幸, 牧野英司, 峯田 , “親水・はっ水構造と薄膜ヒータの加熱によるグルコースの蛍光修飾”, 日本機械学会東北支部第47回秋期講演会論文集, 352

(192)    峯田 貴,佐渡 祐介,牧野 英司,岡崎 禎子,古屋 泰文, “FePd磁気形状記憶合金薄膜/Si積層構造のマイクロカンチレバー形成”, 72回応用物理学会学術講演会予稿集, 22-028 (2011)

(193)    峯田 貴,牧野 英司, “原子間力顕微鏡プローブによるヒアルロン酸分子の機械的切断”, 72回応用物理学会学術講演会予稿集,  12-331 (2011)

(194)     T. Mineta, Y. Haga, “Materials and Processes in Shape Memory Alloy- MEMS materials and Process Handbook : Chapter 6”, Springer (2011 June 29) 単行本

(195)     Takashi Mineta, Tomoe Deguchi, Eiji Makino, Takahiro Kawashima, Takayuki Shibata, “Fabrication of cylindrical micro actuator by etching of TiNiCu shape memory alloy tube”, Sensors and actuators A, Vol. 165, Issue 2, pp. 392-398 (Feb. 2011)

(196)     Takashi Mineta, Shinya Kudoh, Eiji Makino, Takahiro Kawashima, Takayuki Shibata,Accurate assembly process of shape memory alloy tubular micro manipulator with a coaxial bias mechanism”, Microelectronic Eng., Vol. 88, Issue 8, pp. 2683-2686 (August 2011)

(197)     Seiya Kobayashi, Eiji Makino, Takashi Mineta, Tomohiro Komatsuzaki, “Effects of Microstructure Geometry and Plasma Modification on Wetting Properties of SU-8 Surface”, Microelectronic Eng., Vol. 88, Issue 8, pp. 1775-1778 (August 2011)

(198)     小林誠也,牧野英司,峯田貴, “感光性エポキシ樹脂SU-8表面の濡れにおよぼす微細凹凸形状とプラズマ改質の影響”, 表面技術,  Vol.62, No.3, pp.40-44 (2011)

(199)     E. Makino, T. Mineta, T. Mitsunaga, T. Kawashima, T. Shibata, “Sphincter actuator fabricated with PDMS/SMA bimorph cantilevers”, Microelectronic Engineering, Vol. 88, 2662–2665 (2011)

 

2010

(200)     Takashi Mineta and Eiji Makino, "Characteristics of the electrochemical etching of TiNi shape memory alloy in a LiCl–ethanol solution" J. Micromech. Microeng. 20, p.125012-1-8 (2010)

(201)     T. Mineta, H. Takeuchi, E. Makino, G. Hashiguchi, "Trapping of Hyaluronic Acid Molecule by Metal Coated Silicon Nano-tweezers",  J. Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS, Vol. 9 (3), 031004-1-5 (5P) (2010)

(202)     H. Takeuchi, T. Mineta, E. Makino, “Trapping of Hyaluronic Acid Molecules on Sharp Nano-Electrodes of Various Metals”, Microelectronic Engineering, Vol.87 pp. 738-741 (2010)

(203)     Norihisa Kato, Takahiro Kawashima, Takayuki Shibata, Takashi Mineta, Eiji Makino, “Micromachining of a newly designed AFM probe integrated with hollow microneedle for cellular function analysis”, Microelectronic Engineering 87 (2010) 11851189.

(204)     T. Kawashima, T. Kimura, T. Shibata, A. Kishida, T. Mineta, E. Makino, “Feasibility study on cellular network analysis with patterned cell culture microdevice”, Microelectronic Engineering, Vol. 87, Issues 5-8, pp. 704-707, 2010.

(205)     Takashi Mineta, Shinya Kudoh, Eiji Makino, Takahiro Kawashima, Takayuki Shibata,Accurate assembly process of shape memory alloy tubular micro manipulator with a coaxial bias mechanism”, 36th Int. Conf. Micro Nano Engineering, Sep.19-22, Genoba, Italy (2010)

(206)     Seiya Kobayashi, Eiji Makino, Takashi Mineta, Tomohiro Komatsuzaki, “Effects of Microstructure Geometry and Plasma Modification on Wetting Properties of SU-8 Surface”, 36th Int. Conf. Micro Nano Engineering, Sep.19-22, Genoba, Italy (2010)

(207)     Eiji Makino, Takashi Mineta, Tomofumi Mitsunaga, Takahiro Kawashima, Takayuki Shibata, “Sphincter Actuator Fabricated with PDMS/SMA Bimorph Cantilevers”, 36th Int. Conf. Micro Nano Engineering, Sep.19-22, Genoba, Italy (2010)

(208)     Norihisa Kato, Shuhei Horiike, Moeto Nagai, Takahiro Kawashima, Takayuki Shibata, Takashi Mineta, Eiji Makino, ”Fabrication of Bioprobe Integrated with Hollow Nanoneedle for Novel AFM Applications in Cellular Function Analysis”, 36th Int. Conf. Micro Nano Engineering, Sep.19-22, Genoba, Italy (2010)

(209)     小林誠也,西内太郎,小松崎寛央,牧野英司,峯田貴, “凹凸構造とプラズマ処理による感光性エポキシ樹脂表面の濡れ制御”, 表面技術協会第121回講演大会要旨集, 253 (2010)

(210)     小林誠也,牧野英司峯田貴,小松崎寛央, “エポキシ樹脂と水の塗れに及ぼす凹凸断面形状とSF6プラズマ処理の影響”, 表面技術協会第122回講演大会要旨集, 230 (2010

(211)     小松崎寛央,西内太郎,峯田貴,牧野英司,小林誠也, “微細凹凸構造によるぬれ性制御”, 表面技術協会第122回講演大会要旨集, 231 (2010)

(212)     佐々木愛, 峯田貴, 牧野英司, 柿崎育子, 遠藤正彦, “プロテオグリカン分子を固定するための基板表面処理法の検討”, 122回講演大会要旨集、p.240 (2010

(213)     佐野雄介,牧野英司, 峯田貴, 鈴木秀典, “括約筋アクチュエータのためのシリコンゴムバルーンの変形特性”, 精密工学会東北支部学術講演論文集, pp.38-39 (2010)

(214)     佐藤慶亮, 峯田貴, 牧野英司, 渡辺健一, “血管内での位置決め機構を持つ熱型マイクロ血流センサの形成”, 精密工学会東北支部学術講演論文集, pp.40-41 (2010)

 

2009

(215)     Takahiro Kawashima, Takahiro Sakai, Norihisa Kato, Takayuki Shibata, Mitsuyoshi Nomura, Takashi Mineta, and Eiji Makino, “Mechanical Characterization and Insertion Performance of Hollow Microneedle Array for Cell Surgery” J. Micro/Nanolithography, MEMS and MOEMS, Vol. 8, Issue 3, 033014 (7pp) (2009).

(216)     S. Morita, T. Mineta, E. Makino, A. Umino, T. Kawashima, T. Shibata, "Fabrication of novel silicon dual AFM tip with narrow gap", J. Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS Vol. 8, No. 2, pp. 021117-1-5 (2009)

(217)     Takayuki Shibata, Shinji Yamanaka, Norihisa Kato, Takahiro Kawashima, Mitsuyoshi Nomura, Takashi Mineta, Eiji Makino, Fabrication of micromanipulator array for cell patterning, Microelectronic Engineering, 86 pp.14391442 (2009)

(218)     Takashi Mineta, Kouji Kasai, Yuki Sasaki, Eiji Makino, Takahiro Kawashima, Takayuki Shibata, “Flash-Evaporated TiNiCu Thick Film for Shape Memory Alloy Micro Actuator”, Microelectronic Engineering, 86 , pp.12741277 (2009)

(219)     Takashi Mineta, Takehisa Takada, Eiji Makino, Takahiro Kawashima, Takayuki Shibata, “Wet Abrasive Blasting Process for Smooth Micromachining of Glass by Ductile-mode Removal”, J. Micromechanics and Microengineering, Vol.19, pp. 015031-1-8 (2009)

(220)     Hiroko Takeuchi, Takashi Mineta, Eiji Makino, Gen Hashiguchi, “Trapping of Hyaluronic Acid Molecule by Metal Coated Silicon Nano-tweezers”, Proc. 3th IEEE-Nanomed, Oct.18-21, Tainan, Taiwan, pp. 182-185 (2009)

(221)     H. Takeuchi, T. Mineta, E. Makino, “Trapping of Hyaluronic Acid Molecules on Sharp Nano-Electrodes of Various Metals”, 35th Int. Conf. Micro Nano Engineering, Sep.28-30, Ghent, Belgium (2009)

(222)     Eiji Makino, Takashi Mineta, Koji Kasai, Tatsuya Arisaka, Takahiro Kawashimab, Takayuki Shibata, “Flash Evaporated SMA Thick Films for Medical Micro Actuators” 35th Int. Conf. Micro Nano Engineering, Sep.28-30, Ghent, Belgium (2009)

(223)     Norihisa Kato, Takahiro Kawashima, Takayuki Shibata, Takashi Mineta, Eiji Makino, “Micromachining of Newly Designed AFM probe Integrated with Hollow Microneedle for Cellular Function Analysis”, 35th Int. Conf. Micro Nano Engineering, Sep.28-30, Ghent, Belgium (2009)

(224)     M. Ozaki, N. Kida, T. Mineta, E. Makino, S. Toh, T. Kawashima, T. Shibata, “Heating And Actuation Characteristics of Shape Memory Thin Film Actuator for Blood Vessel Holding”, Tech. Dig. of the 14th Int. Conf. on Solid State Sensors, Actuators and Microsystems (Transuducers’09), pp. 1770-1773 (2009)

(225)     小林誠也,牧野英司,峯田, “液滴の接触角に及ぼす表面の凹凸形状サイズの効果”, 精密工学会東北支部学術講演会講演論文集, pp79-80 (2009)

(226)     峯田貴, 牧野英司, “形状記憶合金の厚膜形成と機能複合化による医用メカニカルセンサへの応用”, 日本機械学会第17回機材材料・材料加工技術講演会, 富山国際会議場, 116, 440 (pp2) (2009)

(227)     工藤真也, 峯田貴, 牧野英司, “熱収縮連結機構をもつ形状記憶合金チューブ型屈曲アクチュエータの一括形成”, 日本機械学会2009年度年次大会講演論文集(1), 913, 岩手大学, pp. 197-198 (2009)

(228)     海野晃弘, 盛田慎二, 峯田貴, 牧野英司, 川島貴弘, 柴田隆行, “原子間力顕微鏡に用いる近接構造のシリコンデュアルプローブの形成と動作評価”, 日本機械学会2009年度年次大会講演論文集(8), 913, 岩手大学, pp. 239-240 (2009)

(229)     葛西 恒二,有坂 達矢,峯田 貴,牧野 英司 川島 貴弘,柴田 隆行, ”フラッシュ蒸着によるTiNiCu厚膜の機械的特性”, 平成21年電気学会全国大会予稿集第3分冊, 317, 北海道大学, p. 1817 (2009)

(230)     安達 浩祐,小松崎 寛央,峯田 貴,牧野 英司,渡辺 健一, “血栓生成予防のためのマイクロバルーンアクチュエータの動的変形特性”, 平成21年電気学会全国大会予稿集(3), 317, 北海道大学, p. 187 (2009)

 

2008

(231)     Takashi Mineta, Yuki Tanahashi, Eiji Makino, Satoshi Toh, Takahiro Kawashima, Takayuki Shibata, “Thermal Type Blood Flow Sensor on Titanium Micro Needle”, Sensors and Materials, Vol. 20 No. 7, pp.341-349 (2008)

(232)     峯田 , 久保 悠, 牧口大輔, 牧野英司, 川島貴弘, 柴田隆行, “ TiNi合金フラッシュ蒸着膜の柔軟性へ及ぼす成膜温度および熱処理の影響”, 表面技術協会誌, Vol.59, No.9, pp. 615-620. (2008)

(233)     Takayuki Shibata, Yoichi Takahashi, Takahiro Kawashima, Toshio Kubota, Mamoru Mita, Takashi Mineta, Eiji Makino, “Micromachining of electroformed nickel mold using thick photoresist microstructure for imprint technology”, Microsystem Technology 14 (9-11) 1359-1365 (2008)

(234)     Terutake Hayashi, Takayuki Shibata, Takahiro Kawashima, Eiji Makino, Takashi Mineta, Toru Masuzawa, Photolithography system with liquid crystal display as active gray-tone mask for 3D structuring of photoresist, Sensors and Actuators A: Physical Volume 144, Issue 2, Pages 381-388. (2008)

(235)     T. Mineta, N. Kida, S. Nomura, E. Makino, T. Sugawara, S. Toh, T. Shibata, “Pulsation Sensor Integrated with Microvascular Holding Actuator for Thrombosis Monitoring”, Sensors and Actuators A, Vol. 143, Issue 1, pp. 14-19 (2008)

(236)     Eiji Makino, Kouji Kasai, Yuki Sasaki, Takashi Mineta, Takahiro Kawashima, Takayuki Shibata, ”Flash-Evaporated TiNiCu Thick Film for Shape Memory Alloy Micro Actuator”, Proc. of 34th Int. Conf. on Micro Nano Eng., 372 (2008)

(237)     Takayuki Shibata, Shinji Yamanaka, Norihisa kato, Takahiro Kawashima, Mitsuyoshi Nomura, Takashi Mineta, Eiji Makino, ”Fabrication ob micro manipulator array for cell patterning”, Proc. of 34th Int. Conf. on Micro Nano Eng. 526 (2008)

(238)     Takahiro Kawashima, Takuya Shinmachi, Takayuki Shibata, Mitsuyoshi Nomura,Tsuyoshi Kimura, Akio Kishida, Takashi Mineta, Eiji Makino, “Fabrication of cell patterning device for cellular network analysis”, Proc. of 34th Int. Conf. on Micro Nano Eng., 529 (2008)

(239)     Takayuki Shibata, Norihisa Kato, Takahiro Sakai, Takahiro Kawashima, Mitsuyoshi Nomura, Takashi Mineta, Eiji Makino, ”Fabrication And Fluid Ejection Performance of Hollow Microneedle Array for Cellular Function Analysis”, Proc. of the 3rd Int. Conf. on Material and Processing (ICM&P 2008)  (2008)

(240)     T. Kawashima, T. Shibata, T. Sakai, N. Kato, M. Nomura, T. Mineta, and E. Makino, Insertion Performance of Hollow Microneedle Array for Cell Surgery”, The 4th Asia Pacific Conf. on Transducers and Micro / Nano Technol. (2008) 

(241)     Y. Tanahashi, T. Mineta, E. Makino, S. Toh, T. Shibata, “Thermal Type Blood Flow Sensor Integrated with Ti Micro Needle”, The 4th Asia Pacific Conf. on Transducers and Micro / Nano Technol. (2008)

(242)     S. Morita, T. Mineta, E. Makino, T. Shibata, “ Fabrication of Novel Si Dual AFM Tips with Narrow Gap”, The 4th Asia Pacific Conf. on Transducers and Micro / Nano Technol. (2008)

(243)     T. Mineta, T. Deguchi, E. Makino, T. Kawashima, T. Shibata, “Fabrication of Cylindrical Micro Actuator by Etching of TiNiCu Shape Memory Alloy Tube”, Proc. of The 25th Sensor Symp., pp.42-45 (2008)

(244)     H. Takeuchi, T. Mineta, E. Makino, M. Hosogi, G. Hashiguchi, “Stretching and Trapping of Hyaluronic Acid Molecules” Proc. of The 25th Sensor Symp., pp.125-128 (2008)

(245)     N. Kato, T. Shibata, T. Kawashima, T. Mineta, E. Makino, “Development of Bioprobe Integrated with Microneedle for Cellular Function Analysis”, Proc. of The 25th Sensor Symp., pp.190-194 (2008)

(246)     尾崎真寿, 山本友香子, 木田のぞみ, 峯田貴, 牧野英司, , “形状記憶合金アクチュエータの動作温度の評価”, 42回生体医工学会東北支部大会講演論文集, p22 (2008)

(247)     竹内博子, 峯田貴, 牧野英司, 細木真保, 橋口原, ”対向したナノ電極先端へのヒアルロン酸分子の捕捉 , 42回生体医工学会東北支部大会講演論文集, p24 (2008)

(248)     酒井嶺太,  松森仁明, 尾崎真寿, 峯田貴, 牧野英司, “差圧式MEMS流量センサによるHe微小流量の検出および制御”, 機械学会東北支部第44期秋期講演会講演論文集, pp.129-13 (2008)

(249)     尾崎真寿, 酒井嶺太,峯田貴, 牧野英司, “計測自動制御学会東北支部第243回研究集会, 243-5, pp. 1-4 (2008)

(250)     棚橋祐輝,峯田貴,牧野英司,藤哲, 柴田隆行, “血栓検出のための熱型マイクロ血流センサ”, 47回生体医工学会大会, p.248 (2008)

(251)     安達浩祐, 工藤由人, 牧野英司, 峯田貴, 藤哲, “血管ミルキングのためのマイクロバルーンアクチュエータ” , 47回生体医工学会大会, p.249 (2008)

(252)     川島貴弘,新町拓也,柴田隆行,峯田 貴,牧野英司, ”細胞ネットワーク機能解析のためのマイクロ空間細胞配列チップの開発細胞を模擬した微粒子の配列実験-,精密工学会春季大会講演論文集,pp. 825-826 (2008).

(253)     山中信司,柴田隆行,川島貴弘,峯田 貴,牧野英司:セルパターニングのための細胞操作用マイクロマニピュレータアレイの開発(第1報)吸盤型マイクロニードルの作製,精密工学会春季大会講演論文集,pp. 827-828 (2008).

(254)     酒井貴浩,柴田隆行,川島貴弘,峯田 貴,牧野英司:オンチップ細胞サージェリーシステムのためのマイクロニードルアレイの開発(第3報)液体注入および穿刺性能の評価,精密工学会春季大会講演論文集,pp. 835-836 (2008).

(255)     加藤統久,伊藤雅仁,柴田隆行,川島貴弘,峯田 貴,牧野英司:細胞機能解析のためのマイクロニードル搭載型AFMプローブの開発,日本機械学会東海支部第57期講演会論文集,pp. 147-148 (2008).

(256)     盛田慎二,峯田貴,牧野英司,柴田隆行, 近接デュアルAFMプローブ形成のためのSiナノマシニング”, 表面技術協会117講演大会論文集,  p240 (2008)

(257)     棚橋祐輝,峯田貴,牧野英司,柴田隆行, “Ti電解エッチングによる微細パターンの形成”, 表面技術協会117講演大会論文集, p273 (2008)

(258)     葛西恒二, 佐々木祐希,  峯田貴, 牧野英司, 柴田隆行, “フラッシュ真空蒸着によるTiNiCu形状記憶合金厚膜の形成 , 表面技術協会117講演大会論文集, p97 (2008)

 

2007

(259)     菅原卓, 峯田貴, 牧野英司, , 柴田隆行, “形状記憶合金薄膜を用いた着脱式微小動脈拍動センサー:実験的研究”, 日本マイクロサージャリー学会誌, 20, 1, pp.17-25. (2007)

(260)     T. Shibata, A. Nakanishi, T. Sakai, N. Kato, T. Kawashima, T. Mineta, E. Makino, “Fabrication And Mechanical Characterization of Microneedle Array for Cell Surgery”, Dig. of Tech Papers of the 14th Int. Confe.on Solid State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers’07), pp. 719-722, (2007)

(261)     M. Kanezawa, T. Mineta, E. Makino, S. Toh, “Electrostatic Stretching of Hyaluronic Acid Molecule and Cutting with AFM Probe”, Dig. of Tech Papers of the 14th Int. Confe.on Solid State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers’07), pp. 723-726, (2007)

(262)     T. Mineta, E. Makino, K. Kasai, M. Goto, T. Shibata, Micromachining of High-Aspect Ratio Structures in Glass By Photoblasting”, 7th Workshop on High- Aspect-Ratio Micro-Structure Technol. (HARMST07), pp.193-194, (2007)

(263)     T. Shibata, Y. Takahashi, T. Kawashima, T. Kubota, T. Mineta, E. Makino, Micromachining of Electroformed Nickel Mold Using Thick Photoresist Microstructure for Imprint technology”, 7th Workshop on High- Aspect-Ratio Micro-Structure Technol. (HARMST07), pp.183-184, (2007)

(264)     Takashi Mineta, Mio Kanezawa, Eiji Makino, Satoshi Toh, Takayuki Shibata, “Electrostatic Stretching and AFM Imaging of Hyaluronic Acid Molecule”, AFM BioMed Conf., 99 (2007)

(265)     Norihisa Kato, Takayuki Shibata, Takahiro Kawashima, Takashi Mineta, Eiji Makino, “A Nobel Desighn of AFM Prove Integrated with Hollow Microneedle for Cellular Function Analysis”, AFM BioMed Conference, April 19-21, 2007, Barcelona, Spain, 85

(266)     T. Mineta, N. Kida, S. Nomura, E. Makino, T. Sugawara, S. Toh, T. Shibata, “Thrombus Sensor with a Microvascular Holding Actuator”, Proceedings of 20th IEEE Int. Micro Electro Mechanical Systems Conf. (MEMS2007), pp. 545-548 (2007

(267)     盛田慎二,峯田貴,牧野英司,柴田隆行, “Siエッチングによる原子間力顕微鏡用デュアルナノプローブの形成”, 精密工学会東北支部講演会, 11-12 (2007)

(268)     松森仁明,高梨博道,峯田貴,牧野英司, “Heガスの微小流量計測用MEMS熱型フローセンサ”, 精密工学会東北支部講演会, 15-16, (2007)

(269)     棚橋祐輝,峯田貴,牧野英司,柴田隆行, ”Ti微細加工により形成したマイクロニードル型血流センサ” , 精密工学会東北支部講演会, 17-18 (2007)

(270)     牧口大輔, 葛西恒二, 峯田貴, 牧野英司, 柴田隆行, “フラッシュ真空蒸着した形状記憶合金薄膜の積層による厚膜化”, 表面技術協会第115回講演大会論文集, p275 (2007)

 

2006

(271)     Y. Haga, T. Matsunaga, W. Makishi, K. Totsu, T. Mineta, M. Esashi, “Minimally Invasive Diagnostics and Treatment Using Micro/nano Machining”, Minimally Invasive Therapy, vol. 15, No.4 , pp. 218-225. (2006)

(272)     柴田隆行, 吉田典央, 川島貴弘, 水上良明, 堀内 , 峯田 , 牧野英司,細胞サージェリーのためのマイクロニードルアレイの開発精密工学会誌, vol. 72No.12 pp. 1520-1524 (2006)

(273)     柴田隆行,鯉渕博文,川島貴弘,久保田俊夫,峯田貴,牧野 英司, “オンチップ電気化学プロセスのための微小電極パターンのマイクロマシニング”, 表面技術, vol.57, No.6, pp. 434-439 (2006)

(274)     岡田和廣, 角谷哲哉, 松 良幸, 渡部善幸, 三井俊明, 峯田貴, 杉山進, “SOIウェハを用いた5軸モーションセンサとその設計一手法”, 電気学会E準部門誌, vol.126, No.6, pp. 261-268 (2006)

(275)     T. Sugawara, K. Hirota, M. Watanabe, T. Mineta, E. Makino, S. Toh, T. Shibata, Shape Memory Thin Film Actuator for Holding a Fine Blood Vessel”, Sensors and Actuators A, vol. 130-131, pp. 461-467 (2006)

(276)     Y. Watanabe, T. Mitsui, T. Mineta, Y. Matsu, K. Okada, “SOI Micromachined 5-Axis Motion Sensor Using Resonant Electrostatic Drive and Non-Resonant Capacitive Detection Mode”, Sensors and Actuators A , vol. 130-131, pp. 116-123 (2006)

(277)     Terutake Hayashi, Takayuki Shibata, Takahiro Kawashima, Eiji Makino, Takashi Mineta, Toru Masuzawa, “Active Mask UV Lithography System for MEMS and μ-TAS Applications” 21th Annual Meeting of American Soc. for Precision Eng. (ASPE2006)

(278)     T. Shibata, Y. Takahashi, O. Horiuchi, T. Masuzawa, T. Mineta, E. Makino, “Development of microimprint technology with electroformed nickel mold” 6th Annual General Meeting of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology (EUSPEN2006), pp. 168-171 (2006)

(279)     Takuya Miho, Kouji Ishida, Takashi Mineta Eiji Makino, Takayuki Shibata, Yoshiyuki Watanabe, ”Development of Novel Multi-axis Silicon Gyroscope with Piezoelectric PZT Thin Film”, 6th Annual General Meeting of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology (EUSPEN2006), pp.208-211 (2006)

(280)     Eiji Makino, Takashi Mineta, Takehisa Takada, Takayuki Shibata, “Micromachining of fine trench pattern in glass and metal by photoblasting”, 6th Annual General Meeting of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology (EUSPEN2006), pp. 136-139 (2006)

(281)     T. Mineta, N. Kida, S. Nomura, E. Makino, T. Sugawara, S. Toh, T. Shibata, “Pulsation Sensor Integrated with a Microvascular Holding Actuator for Thrombus Detection”, Proc. of The 23th Sensor Symp. pp. 447-450 (2006)   五十嵐賞受賞(講演者:木田のぞみ)

(282)     葛西恒二、後藤全男、峯田貴、牧野英司、柴田隆行フォトブラスティングにおける砥粒入射角度と加工断面形状表面技術協会第114回講演 大会論文集,146 (2006).

(283)     出口智絵、峯田貴、牧野英司、円筒形アクチュエータ形成のためのTiNiCu形状記憶合金のエッチング表面技術協会第114回講演 大会論文集, p211 (2006).

(284)     金沢未央、峯田貴、牧野英司、菅原卓、藤哲、ヒアルロン酸分子の析出方向の制御とAFMによる観察表面技術協会第114回講演 大会論文集, 209 (2006).

(285)     中西彬、柴田隆行、川島貴弘、堀内 宰,峯田 貴,牧野英司、オンチップ細胞サージェリーシステムのためのマイクロニードルアレイの開発”, 表面技術協会第114回講演大会論文集, 205 (2006).

(286)     峯田貴、金沢未央、牧野英司、菅原卓、藤哲、静電伸長したヒアルロン酸分子の析出方向の評価”, 23回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム, 96 (2006)

(287)     三保拓也,石田幸司,峯田 貴,牧野英司,柴田隆行、ゾルゲル法によるクラックフリーPZT圧電薄膜の形成とパターニング,表面技術協会第113回講演 大会論文集,251 (2006).

(288)     菅原 卓、野村聡志、木田のぞみ、峯田 貴、牧野英司、藤 哲、柴田隆行, “形状記憶合金薄膜を用いた着脱式微小動脈拍動センサー、青森末梢血管懇話会, p.5 (2006)

(289)     菅原 卓、野村聡志、木田のぞみ、峯田 貴、牧野英司、藤 哲、柴田隆行, “形状記憶合金薄膜を用いた着脱式微小動脈拍動センサー”, 143回弘前医学会例会(2006

(290)    Takashi Mineta, Ken-ichi Hirota, Eiji Makino, Takashi Sugawara, Satoshi Toh, Takayuki Shibata, “Shape Memory Thin Film for Blood Vessel Holding Actuator of Thrombus Detector”, Key Engineering Materials Vol. 297-300, p244-249, 2005

(291)     T.Sugawara, K.Hirota, M.Watanabe, T.Mineta, E.Makino, S.Toh, T.Shibata, Integrated Shape Memory Thin Film for Detachable Microvascular Pulse Monitoring. The III Congress of the World Society for Reconstructive Microsurgery. (2005)

(292)     Y. Haga, Y. Muyari, T. Mineta, T. Matsunaga, H. Akahori, M. Esashi, “Small Diameter Hydraulic Active Bending Catheter Using Laser Processed Super Elastic Alloy and Silicone Rubber Tube”, 3rd Annual International IEEE-EMBS Special Topic Conf. on Microtechnologies in Medicine & Biology, pp. 245-248 (2005)

(293)     Y. Watanabe, T. Mitsui, T. Mineta, Y. Matsu, K. Okada, “SOI Micromachined 5-Axis Motion Sensor Using Resonant Electrostatic Drive and Non-Resonant Capacitive Detection Mode”, International Conference on Solid State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers’05), pp. 511-514 (2005)

(294)     T. Sugawara, K. Hirota, M. Watanabe, T. Mineta, E. Makino, S. Toh, T. Shibata, Shape Memory Thin Film Actuator for Holding a Fine Blood Vessel”, International Conference on Solid State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers’05), pp. 729-732 (2005)

(295)     T. Shibata, Y. Makita, T. Masuzawa, A. Kishida, E. Makino, T. Mineta, “Development of Bio-microdevice Actuated by Piezoelectric Thin Film for Cell Culture”, 5th Int. Conf. and 7th Annual General Meeting of the European Soci. for Precision Engineering and Nanotechnology (EUSPEN2005), pp. 777-780  (2005

(296)     T. Mineta, E. Makino, “Electrochemical etching with High Etch Factor for Micromachining of Shape Memory Alloy”, 5th Int. Conf. and 7th Annual General Meeting of the European Soci. for Precision Engineering and Nanotechnology (EUSPEN2005), pp. 695-698. (2005)

(297)     E. Makino, T. Mineta, T. Takada, H. Sato, “Photoblasting with PDMS mask and fine abrasive for Micromachining of Metal and glass”, 5th Int. Conf. and 7th Annual General Meeting of the European Soci. for Precision Engineering and Nanotechnology (EUSPEN2005), pp. 673-676 (2005)

(298)    T. Mineta, E. Makino, H. Wakamatsu, T. Sugawara, S. Toh, K. Takagaki, “Atomic Force Microscopic Imaging of Electrostatically Stretched Hyaluronic Acid Molecule”, Proc. of The 22th Sensor Symp., pp. 57-60 (2005)

(299)     峯田貴、野村聡志、木田のぞみ、牧野英司、菅原卓、藤 哲、柴田隆行, “血管把持アクチュエータを用いた拍動検出型血栓センサ、電気学会バイオマイクロ研究会, pp.5-82005

(300)     菅原卓、野村聡志、木田のぞみ、峯田貴、牧野英司、藤 哲、柴田隆行, “形状記憶合金薄膜を用いた着脱式微小動脈拍動センサー、第32回日本マイクロサージャリー学会, p.48 (2005)

(301)     野村聡志、木田のぞみ、峯田 貴、牧野英司、菅原 卓、藤 哲、柴田隆行, “形状記憶合金薄膜を用いた血管把持アクチュエータ、第39回日本生体医工学会東北支部大会, p.352005

(302)     金沢未央, 若松陽雅, 峯田貴, 牧野英司, 菅原卓, 藤哲, 高垣啓一, “原子間力顕微鏡によるヒアルロン酸の分子像観察”, 表面技術協会第112回講演大会要旨集, 金沢大, 金沢, Oct. 6-7, 189, 2005

(303)     牧口大輔, 久保悠, 峯田貴, 牧野英司, 柴田隆行, “フラッシュ真空蒸着したTiNi形状記憶合金薄膜の機械的性質”, 表面技術協会第112回講演大会要旨集, 246, (2005)

(304)     伊藤圭介,柴田隆行,水上良明,堀内 宰,増澤 徹, 峯田 貴,牧野英司,” オンチップ細胞サージェリーシステムのためのナノニードルアレイの開発シリコンのドライエッチング特性の評価―”, 精密工学会秋季大会, (2005)

(305)     吉田典央,柴田隆行,水上良明,堀内 宰,増澤 徹,岸田晶夫,峯田 貴,牧野英司, “細胞機能制御のための圧電駆動型バイオマイクロデバイスの開発”, 精密工学会秋季大会, (2005)

(306)     高橋洋一,柴田隆行,水上良明,堀内 宰,増澤 徹,峯田 貴,牧野英司, “ニッケル電鋳金型を用いたマイクロインプリント技術の開発” , 精密工学会秋季大会 (2005)

 

2004

(307)     T. Mineta, “Electrochemical Etching for Micromachining of Ni-Fe Containing Corrosion Resistant Alloys”, Sensors and Actuators A, vol. 114 Issues 2-3, 2004, pp. 536-542.

(308)     T. Mineta; "Electrochemical Etching of NiTi Shape Memory Alloy sheet using New Electrolyte Solutions", J. Micromech. and Microeng., Vol.14, 2004, 76-80. 

(309)     K. Hirota, T. Mineta, E. Makino, T. Sugawara, S. Toh, T. Shibata, “Shape Memory Thin Film for Blood Vessel Clipping Actuator of Thrombus Detector”, Asia-Pacific Conference for Fracture and Strength (APCFS 04),

(310)     T. Mineta, M. Abe, H. Kubo, E. Makino and T. Shibata, “Fabrication of TiNi 3D Micro Structures from Evaporated Thin Film Tube”, International Conference on Electrical Engineering / Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology 2004 (APCOT-MNT 2004), pp.322-325 (2004)

(311)     H. Kubo, M. Abe, T. Mineta, E. Makino and T. Shibata, “Fabrication of Microactuator for Active Catheter from SMA Thin Film Tube”, Proc. of The 21th Sensor Symp., pp.39-42 (2004)

(312)     Y. Watanabe, T. Mitsui and T. Mineta, “5-Axis Motion Sensor with SOI StructureUsing Resonant Drive and Non-Resonant Detection Mode”, Proc. of The 21th Sensor Symp., pp.379-382 (2004)

(313)     菅原卓,藤 哲,廣田賢一,渡邉優,峯田貴,牧野英司, “TiNiCu形状記憶合金薄膜の細胞毒性試験”, バイオマテリアル学会シンポジウム, (2004)

(314)     高田健央, 峯田貴, 牧野英司, “微細パターン形成のためのフォトブラスティングの加工現象”, 表面技術協会第111回講演大会要旨集, (2005)

(315)     佐藤博之, 高田健央, 峯田貴, 牧野英司, “フォトブラスティングによるガラスの微細パターニング”, 表面技術協会第110回講演大会要旨集, pp. 194-195 (2004)

(316)     三保拓也, 川村隆之, 峯田貴, 牧野英司, 柴田隆行, “スパッタPZT薄膜のクラックとその対策”, 表面技術協会第110回講演大会要旨集, 167 (2004)

(317)     峯田貴, 牧野英司, “TiNi形状記憶合金の電解エッチング形状への電解液濃度の影響”, 表面技術協会第110回講演大会要旨集, pp. 244-245 (2004)

(318)     渡部善幸, 峯田貴, 三井俊明, 岡田和廣, 板野弘道, 松良幸, “SOIウェハを用いた多軸モーションセンサの基本特性”, 電気学会全国大会予稿集 (2004)

 

2003

(319)     峯田貴, “LiCl-エタノール電解液を用いた形状記憶合金の電解エッチングにおけるパルス化の効果”, 表面技術, vol.54, No.10, 2003, pp. 693-697.

(320)    峯田貴; “形状記憶合金の電解エッチングのための電解液”, 表面技術, vol.54, No.2, pp.145-149 (2003).

(321)     峯田貴, 芳賀洋一, 江刺正喜; "非平面フォトファブリケーションによる形状記憶合金パイプからのアクチュエータ作製", 電気学会E部門誌, vol. 123-, No.5, 2003, pp.158-162.

(322)     T. Mineta, “Electrochemical Etching for Micromachining of Corrosion Resistant Alloys”, 12th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators (Transducers'03), pp. 1542-1545 (2003)

(323)     峯田貴, “NiTi等の難加工合金の電解エッチングによる微細加工”, 表面技術協会東北支部/腐食防食協会東北支部合同講演会, 3 (2003)

(324)     久保悠, 安部稔, 牧野英司, 峯田貴, 柴田隆行, “回転フラッシュ真空蒸着による形状記憶合金ステントの形成”, 金属学会東北支部講演会, p13 (2003)(最優秀講演賞受賞)

(325)     安部稔, 久保悠, 牧野英司, 峯田貴, 柴田隆行, “回転フラッシュ真空蒸着による形状記憶合金ステントの形成”, 精密工学会秋季大会, 190 (2003)

(326)     Y. Muyari, T. Mineta, Y. Haga and M. Esashi“Development of Hydraulic Suction Type Active Catheter using Super Elastic Alloy Tube”, Tech. Digest of The 20th Sensor Symp.pp. 57-60 (2003)

(327)     T. Mineta, “Electrochemical Etching for Micromachining of Ni-Fe Containing Corrosion Resistant Alloys”, Tech. Digest of The 20th Sensor Symp., pp. 383-386 (2003)

(328)     六鎗雄太, 芳賀洋一, 峯田貴, 江刺正喜, ”流体吸引型能動マイクロカテーテル及びガイドワイヤー”, 42回日本エム・イー学会大会プログラム・論文集 (生体医工学第41巻特別号 Vol. 41, Suppl.1), 246 (2003)

(329)     峯田貴, 丹野裕司 ; “Ni基およびFe基耐食合金の電解エッチングによる微細加工, 表面技術協会第107回講演大会要旨集, pp. 137-138 (2003)

(330)     柿崎幸博, 指田孝男, 峯田貴, 丹野裕司 ; “熱電材料蒸着膜の組成分布とマイクロサーモパイルの特性, 表面技術協会第106回講演大会要旨集, pp. 263-264 (2003)

 

2002年以前

(331)     渡部善幸, 峯田貴, 三井俊明, 小林誠也; "微小組立技術により作製したホール効果型3軸磁気センサ",電気学会論文誌, vol. 122 -No.4, 2002, pp. 212-216.

(332)     峯田貴, 三井俊明, 渡部善幸, 小林誠也, “パルス電解エッチングによるNiTi形状記憶合金シートの微細加工”, 表面技術, vol.53, No.3, 2002, pp. 208-213.

(333)     Y. Watanabe, T. Mitsui, T. Mineta, S. Kobayashi, N. Taniguchi, K. Okada; " Five-axis Motion Sensor with Electrostatic Drive and Capacitive Detection Fabricated by Silicon Bulk Micromachining", Sensors and Actuators A, vol.97-98 C, 2002, pp. 109-115

(334)     T. Mineta, T. Mitsui, Y. Watanabe, S. Kobayashi, Y. Haga and M. Esashi; "An Active Guide Wire With Shape Memory Alloy Bending Actuator Fabricated by Room Temperature Process", Sensors and Actuators A, vol.97-98C, 2002, pp. 632-637

(335)     Y. Haga, T. Mineta, M. Esashi, ”Active Catheter, Active Guide Wire And Related Sensor Systems”, Proceeding of The World Automation Congress (WAC 2002) Ninth International Symposium on Robotics with Applications (ISORA) (2002)

(336)     T. Mineta, Y. Haga and M. Esashi; " Electrochemical Etching of Shape Memory Alloy Using New Electrolyte Solutions", Proceedings of 15th IEEE International Micro Electro Mechanical Systems Conference (MEMS2002), pp. 376-379 (2002)

(337)     芳賀洋一, 峯田貴, 戸津健太郎、中村和浩、藤田匡佑、江刺 正喜, “マイクロ能動カテーテルとマイクロセンサ”, 17 日本整形外科学会基礎学術集会, 1015 (2002)

(338)     渡部善幸, 峯田貴, 三井俊明, 丹野裕司, “SOIウエハを用いた真空封止構造多軸モーションセンサ”, 計測自動制御学会東北支部講演大会, (2002)

(339)     峯田貴, 芳賀洋一, 江刺正喜; "非平面フォトファブリケーションによる形状記憶合金パイプからの能動カテーテル用アクチュエータ作製", 電気学会全国大会予稿集, pp.205-206 (2002)

(340)     峯田貴, 丹野裕司 ; “LiCl電解質を用いたNiTi形状記憶合金シートのパルス電解エッチングの検討”, 表面技術協会第104回講演大会要旨集, pp.148-149 (2002)

(341)     Haga, T. Mineta, K. Totsu, W. Makishi, M. Esashi, “Development of Active Catheter, Active Guide Wire and Micro Sensor Systems”, Interventional Neuroradiology, 7 ,2001, pp.125-130.

(342)     T. Mineta, T. Mitsui, Y. Watanabe, S. Kobayashi, Y. Haga and M. Esashi; “Batch Fabricated Flat Meandering Shape Memory Alloy Actuator for Active Catheter”, Sensors and Actuators A, vol.88, 2000, pp. 112-120.

(343)     T. Mineta, Y. Watanabe, S. Kobayashi, Y. Haga and M. Esashi, “Active Catheter Using Multi-Link-Joint Structure Fabricated in Silicon Wafer”, Trans. IEE of Japan, vol. 119-, No.12, 1999, pp. 615-619.

(344)     Y. Watanabe, T. Mineta, S. Kobayashi, K. Shibata; "The Microassembly Technique of 3D Single Crystalline Silicon Structure Using Polyimide/Chromium Cantilever", Trans. IEE of Japan, vol. 119-E, No.4, 1999 pp.236-241.

(345)     柴田健也, 小林誠也, 峯田貴, 渡部善幸;  江刺正喜; "エアダンピング構造の衝撃試験用加速度センサの開発", 16回センサ・マイクロマシンと応用シンポジウム和文速報L1-7, 1998, 76.

(346)    小林誠也, 木村彰夫, 峯田貴, 渡部善幸; "蒸着重合法によるポリイミドのシリコン基板上への成膜", 16回センサ・マイクロマシンと応用シンポジウム和文速報 L3-6, 1998, 82.

(347)    佐藤健吾, 小林誠也, 峯田貴, 渡部善幸; "SiO2/SiOFのプラズマCVD膜を用いた光導波路", 16回センサ・マイクロマシンと応用シンポジウム和文速報 L3-7, 1998, 83.

(348)    村井裕輔, 指田孝男, 渡部善幸, 峯田貴, 小林誠也; "広帯域入射光の自己キャンセル構造を用いたサーミスタボロメータ", 電気学会センサ・マイクロマシン準部門総合研究会, 東京, Nov.11, 1999, PP. 49-54.

(349)     T. Mineta, S. Kobayashi, Y. Watanabe, S. Kanauchi, I. Nakagawa, E. Suganuma and M. Esashi; "Three-Axis Capacitive Accelerometer with Uniform Axial Sensitivities", J. Micromechanics and Microeng., vol.6, 1996, pp.431-435.