磁歪合金薄膜を積層した
シリコンMEMSカンチレバー型デバイス
磁歪合金の薄膜パターンをシリコン上に積層し、カンチレバー構造のMEMSデバイス開発に取り組んでいます。原子間力顕微鏡(AFM)のデュアルカンチレバーを電気信号を用いず低ノイズで上下動作させるナノツールを研究中です。また，PZT圧電薄膜と組み合わせ，カンチレバーの共振から磁場強度を高感度に検出する磁気センサや，振動を電気エネルギーに変換する環境発電マイクロデバイスへの応用にも取り組んでいます。
本研究は、科研費および(財)JKAの研究女性を受けて取り組んできたテーマです。
・科研費（基盤研究(B)） 2011-2013年度 （磁歪薄膜アクチュエータ、AFMカンチレバー開発）
・(財)JKA第1回研究助成 2011年度 （磁気センサ開発）
