原子間力顕微鏡（Atomic Force Microscope: AFM)用近接デュアルナノプローブ
金属ナノ薄膜電極対の先端部に
捕捉したヒアルロン酸分子
（AFM画像）
基板表面へ補足した生体高分子の分子像を、原子間力顕微法（AFM）によって直接観察しながら、その場で分子鎖に操作を加えるマルチプローブを開発しています。
デュアル構造のマイクロカンチレバー先端に、近接してデュアル・ナノ探針を形成した構造で、磁歪薄膜アクチュエータを搭載して外部磁場によって切り替えながら試料表面の観察あるいは分子切断（分子サージャリ）操作をお子なるナノツールです。
また、バイオ・医薬の分野で注目されている、ヒアルロン酸、プロテオグリカン等の生体高分子を捕捉・固定化するマイクロ・ナノデバイスも開発しています。
溶液中からヒアルロン酸の分子鎖を伸長させて基板表面あるいはナノピンセット（ナノ電極対）の先端に補足しまり、マイクロパターン状に修飾したチップ表面へプロテオグリカン分子を固定化することが可能になりました。
選択酸化（LOCOS)プロセス，シリコン結晶異方性エッチングを用いたナノマシニングによる近接ナノプローブ先端の一括形成
熱アクチュエータ搭載タイプ（第1世代）
磁歪薄膜アクチュエータ搭載タイプ（第2世代）
SOG埋込，ポリッシュバック，シリコン結晶異方性
エッチングを用いた自己整合ナノマシニングによる
超近接ナノプローブ先端の形成
シリコン（金属薄膜コーティング）の
ナノピンセット先端部に捕捉した
ヒアルロン酸分子（AFM画像）
