円筒アクチュエータ

　血管内に挿入する管状の器具であるカテーテルの先端や、体内に挿入する局所手術ツールの先端に能動的に屈曲あるいは回転動作させ，マイクロマニピュレータ機能を付加する円筒型マイクロアクチュエータの開発に取り組んでいます。外径0.5～1mmの極細の形状記憶合金(TiNiCu合金等)のチューブの円筒面に非平面フォトリソグラフィ手法により，微細パターンを露光転写し、開口部の形状記憶合金(SMA)チューブを電解エッチングによる微細加工するプロセスを新たに開発し、チューブ状SMAマイクロアクチュエータを開発しています。また，同様の手法により，姿勢制御のためのバイアスばね機構をTiNi超弾性合金チューブから形成し，同軸上に精密に自己組立する手法を開発しました。
　高機能で複雑なマイクロアクチュエータを一括形成でき、低コストでの大量生産を可能にする実用性の高い技術です。