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2024年 (1)
田上竜也, 天野晏年, 齋藤涼, 峯田貴, “SMA厚膜アクチュエータアレイ型MEMS触覚ディスプレイの触覚刺激の提示特性評価”, R5電気学会センサ･シクロマシン部門総合研究会, MSS pp. 91-93 (2024) (2)
大槻力輝、髙橋響、峯田貴,
“液滴移動デバイスのためのPDMS可変凹凸マイクロダイヤフラムアレイ型ゲート構造の形成”, R5電気学会センサ･シクロマシン部門総合研究会, MSS pp. 117-119 (2024) (3)
Takashi
Mineta, Haruto Amano, Tatsuya Tagami, Ryo Saito, Sensory evaluation of tactile
display device with 7x7 S”, MA thick film actuator array, Int. Meeting on Sensors
and Microsystems for SDGs (IMSM-SDGs 2024), pp. 13-15 (2024) (4)
髙橋響, 峯田貴, “液滴輸送を目指した微細凹凸パターンへの空気流入による撥水効果の評価”, 第149回表面技術講演大会,
p-44-p.1 (2024) (5) 田上竜也, 天野晏年, 齋藤涼, 峯田貴, “7×7アレイSMA触覚ディスプレイの刺激提示評価とSi-TSV層との一体形成プロセス”, 日本機械学会東北学生会第53回学生員卒業研究発表講演会
(2024) (6)
大槻力輝、髙橋響、峯田貴,
“可変凹凸マイクロダイヤフラムのゲート構造を用いた液滴移動デバイスの形成”, 日本機械学会東北学生会第53回学生員卒業研究発表講演会
(2024) (7) 今野竜之介, 滝口創太, 峯田貴, ”大屈曲能動カテーテルのための超厚膜レジストの円筒リソグラフィを用いた外骨格機構形成”, 日本機械学会東北学生会第53回学生員卒業研究発表講演会
(2024) 2023年 (8)
Masaru
Tanaka, Yota Iijima, Yusuke Masuda, Tsubasa Sato and Takashi Mineta, “Adjustment Method of MEMS
Dual-Cantilever Deflection Using Plastic Deformation of Al and Ni Thin Film by
Thermal Annealing”,
Electronics, 12, 3153 pp.1-12 (2023) (9)
滝口創太, 峯田貴, “円筒リソグラフィによるチューブ型多軸フォースセンサ機構の形成”, 電気学会MAG/MSS/BMS合同研究会,
MSS23-052-pp.1-3 (2023) (10)
佐藤健太郎, 峯田 貴, “形状記憶合金シートを用いたMEMS3軸力及び硬さセンサの形成”, 電気学会MAG/MSS/BMS合同研究会,
MSS23-053-pp.1-3 (2023) (11)
天野晏年, 田上竜也, 峯田 貴, “7x7厚膜アクチュエータアレイを搭載したMEMS触覚ディスプレイを用いた官能評価”, 電気学会MAG/MSS/BMS合同研究会,
(2023) (12)
滝口 創太,
峯田 貴, “血管内ガイドワイヤのための円筒型多軸フォースセンサ機構部の形成”, 第57回日本生体医工学会東北支部大会,
ME-3-2 (2023) (13)
佐藤健太郎, 峯田貴, ”形状記憶合金シートを用いたMEMS型多軸力および硬さセンサの形成”, 第57回日本生体医工学会東北支部大会,
ME-3-1 (2023) (14)
滝口 創太,
峯田 貴, “血管内ガイドワイヤのための厚膜SU-8の円筒リソグラフィによる多軸フォースセンサ機構の形成”, 8P2-PS-27-pp.1-2 (2023) (15)
清水 広人,
佐藤 勇人, 峯田 貴, “せん断振動型SMA厚膜アレイ触覚ディスプレイの触覚提示評価とばね機構の一括形成”, 第40回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム, 7P2-PS-12-pp.1-4 (2023) (16)
関康貴, 藤井達也, 鈴木庸久, 峯田貴, “LiCl-メタノール電解液中でのマイクロパターンへのTi 電析”,
第148回表面技術講演大会, 05Ｄ-16-p.1 (2023) (17)
中村太翼, 鈴木庸久, 藤井達也, 野村光由, 峯田貴, “PEO 高分子固体電解質のNaイオン伝導率に及ぼすダイヤモンド添加の効果”, 第148回表面技術講演大会,
05Ａ-23-pp.1-2 (2023) (18)
矢作徹, 山田直也, 村山裕紀, 渡部善幸, 江目宏樹, 峯田貴, “微細多段フィン構造成形品の構造色特性の解析と評価”, 第148回表面技術講演大会, 04Ｃ-28-p.1 (2023) (19)
Hayato Sato,
Akira Maruyama, Ryo Saito, and Takashi Mineta “Fabrication of Shearing-motion-type Tactile
Display Mechanism using SMA Thick-film Actuators and Coil Springs Array”, IEEJ Trans. on Electrical and Electronic Eng. Vol. 18, pp. 1220-1225
(2023) (20)
Ryo
Saito, Haruto Amano, and Takashi Mineta, “High Output Tactile Display Using
Sma Thick Film Actuator Array With Improved Thermal And Frequency Response”, 22th Int. Conf. on Solid-State
Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2023), pp. 820-823 (2023) (21)
峯田貴, “SMA膜を用いたMEMS触覚ディスプレイ素子の開発”, R5電気学会全国大会シンポジウム講演,
S22-3, pp. S22(4)-(7), (2023) (22)
清水広人, 佐藤勇人, 峯田貴, “SMA厚膜型せん断振動触覚ディスプレイのためのSU-8ばね機構の一括形成法の開発”, R5電気学会センサ･シクロマシン部門総合研究会, MSS pp. 79-82 (2023) (23)
田村晴紀, 天野晏年, 齋藤凉, 峯田貴, “7x7 SMA厚膜アクチュエータアレイMEMS触覚ディスプレイの形成とフレキシブル化のための基板分離法の検討”, R5電気学会センサ･シクロマシン部門総合研究会, MSS pp. 75-78 (2023) (24)
嶋村悠人, 松阪晃佑, 山﨑亮, 徐嘉楽, 峯田貴, “葉の表面の濡れ状態を模した微細凹凸構造を有する液滴検出センサに関する研究”, R5電気学会センサ･シクロマシン部門総合研究会, pp. 59-61 (2023) (25)
関康貴, 藤井達也, 鈴木庸久, 峯田貴, “LiCl 電解質を用いた非水溶媒によるTi 電析の基礎的研究”, 第147回表面技術講演大会, P-56-p.1 (2023) (26)
清水広人, 佐藤勇人, 峯田貴, “形状記憶合金とリソグラフィ一括形成型バイアスばねを用いたせん断動作触覚ディスプレイ機構部の形成”, 日本機械学会東北学生会 第52回学生員卒業研究発表講演会 (2023) (27)
田村晴紀, 天野晏年, 齋藤凉, 峯田貴, “多素子化したSMA厚膜アクチュエータ型MEMS触覚ディスプレイの形成と動作特性の評価”, 日本機械学会東北学生会 第52回学生員卒業研究発表講演会 (2023) 2022年 (10)
佐藤 勇人,
丸山 顕, 齋藤 涼, 峯田 貴, “MEMS触覚ディスプレイのためのSMA厚膜によるせん断動作機構の形成および動的特性評価”, 第39回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム, 16P2-P-23-pp. 1-2 (2022) (1)
滝口 創太,
峯田 貴, “UVレーザー直描による高アスペクト比の厚膜円筒リソグラフィ”, 第39回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム, 15A3-D-4-pp.1-4 (2022) (2)
天野 晏年,
齋藤 涼, 山田 将也, 松井 弘之, 峯田 貴, “フレキシブルMEMS型触覚ディスプレイを目指したSMA厚膜アクチュエータアレイと個別通電のための有機ダイオードの形成”, 第39回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム, 15A2-A-4-pp.1-4 (2022) ★五十嵐賞・奨励賞ファイナリスト (3)
髙橋響, 小入羽祐治, 峯田貴, “電子顕微鏡観察用の超薄切片試料の自己整合捕捉機能を付加した支持チップの形成および捕捉挙動評価”, 第13回マイクロナノ工学シンポジウム,
15P2-PN-23-pp.1-2 (2022) (4) 佐藤勇人, 丸山顕, 齋藤涼, 峯田貴, “MEMS触覚ディスプレイのための厚膜SMA型せん断動作機構の形成と動的特性の評価”, 日本機械学会東北支部第58期秋季講演会, C3-3-pp.1-2 (2022) 日本機械学会若手優秀講演フェロー賞受賞 (5) 小林和生, 佐藤隆士, 滝口創太，小椋創太，峯田 貴, “さくらんぼ収穫時のもぎとり力と把持力計測のための指装着型センシング機構の開発”, 日本機械学会東北支部第58期秋季講演会, C3-2-pp.1-2
(2022) (6) 髙橋響, 小入羽祐治, 峯田貴, “電子顕微鏡観察用の超薄切片捕捉のための表面張力による自己整合型の試料ホルダチップ形成と捕捉挙動評価”, 日本機械学会東北支部第58期秋季講演会,
A4-1-pp.1-2 (2022) (7)
松永忠雄, 鶴岡典子, 小野寺武, 山口明啓, 池沢聡, 土肥徹次, 神田健介, 岩見健太郎, 峯田貴, 林育菁, 津守不二夫,笠原崇史, 水野潤, 和泉慎太郎, 田畑美幸, 野田和俊, 荒川貴博, “バイオ計測のための材料と微細加工”, コロナ社 (2022.10.13) 単行本 電気学会 優秀技術活動賞グループ著作賞受賞 (1) 滝⼝創太, 峯⽥貴, “UVレーザー直描による厚膜レジストの⾼アスペクト⽐の円筒リソグラフィ”, 電気学会センサ･シクロマシン部門総合研究会, pp. 73-76 (2022) (2) 天野晏年, 齋藤涼, ⼭⽥将也, 松井弘之, 峯⽥ 貴, “フレキシブルMEMS触覚ディスプレイを⽬指したアレイ状SMA厚膜アクチュエータと個別通電⽤有機ダイオード素⼦の形成”. 電気学会センサ･シクロマシン部門総合研究会, pp. 31-34 (2022) (3) Takashi Mineta, Ryo Saito, Haruto Amano, “Optimally-designed SMA Film Actuator Array for
MEMS Tactile Display”, Asia-Pacific
Conference of Transducers and Micro-Nano Technology 2022 (APCOT 2022), A0013 (2022) (4) Hayato Sato, Akira Maruyama, Ryo Saito, and
Takashi Mineta “Fabrication of
Shearing-motion-type Tactile Display Mechanism using SMA Thick-film Actuators
and Coil Springs Array”, Asia-Pacific
Conference of Transducers and Micro-Nano Technology 2022 (APCOT 2022), A0011 (2022) (5) J. Xu, Y. Kimura, K. Tsuji, A. Maruyama, R.
Saito, T. Mineta, “Characterization of the
cooling-fluid-filled arrayed SMA thick film actuator for high power tactile
display”, Asia-Pacific
Conference of Transducers and Micro-Nano Technology 2022 (APCOT 2022), A0125 (2022) 2021年 (6) 小林和生, 佐藤隆士, 小椋創太, 滝口創太, 峯田貴, “さくらんぼ収穫のもぎとり力と把持力計測の力覚センシング機構の開発”, 第51回学生員卒業研究発表講演会, 311-pp.1-2
(2022.3.8) (7) 天野晏年, 斎藤涼, 山田将也, 松井弘之, 峯田貴, “MEMS触覚ディスプレイのためのSMA厚膜アクチュエータアレイと個別駆動用有機ダイオード素子の形成”, 日本機械学会東北学生会 第51回学生員卒業研究発表講演会, 421-pp.1-2
(2022.3.8) (8) 滝口創太, 峯田貴, “UVレーザーによる厚膜レジストの高精度円筒リソグラフィー”, 日本機械学会東北学生会 第51回学生員卒業研究発表講演会, 422-pp.1-2
(2022.3.8) (9) 齋藤涼, 天野晏年, 峯田貴, ”触覚ディスプレイ素子のための熱応答を向上したSMAアクチュエータとDRIEとめっきによるTSV基板の形成”, 第38回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム,
10P3-SSL-75, pp. 1-2 (2021) (10) 佐藤勇人, 丸山顕, 齋藤涼, 峯田貴, “アレイ状のSMA厚膜アクチュエータとコイルばねを配置したせん断駆動型触覚ディスプレイ機構部の形成”, 第38回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム, 10A3-SS2-3-pp.1-4 (2021) (11) Ryo Saito, Haruto Amano, Takashi Mineta, ”Optimal design and fabrication of high output SMA
film actuator array for MEMS tactile display” 9th Int. Conf. on Smart Sys. Eng. 2021 (SmaSys 2021),
113 (2021) (12) Jiale Xu, Yusuke Kimura, Kazuki Tsuji, Akira Maruyama,
Ryo Saito, Takashi Mineta, “Characterization of the cooling-fluid-filled SMA thick actuator array
for high power tactile display”, 9th Int. Conf. on Smart Sys. Eng. 2021 (SmaSys 2021), 114 (2021) (13) Hayato Sato, Akira Maruyama, Ryo Saito, Takashi
Mineta, “Fabrication of shearing
motion mechanism with SMA-thick-film actuator and coil spring array for tactile
display device”, 9th Int. Conf. on Smart
Sys. Eng. 2021 (SmaSys 2021), 115 (2021) (14) 佐藤勇人, 丸山顕, 齋藤涼, 峯田貴, “アレイ状のSMA 厚膜アクチュエータとコイルばねを配置したせん断駆動型触覚ディスプレイの形成”, 電気学会センサ･シクロマシン部門総合研究会, pp. 37-40
(2021) (15) R. Saito, Y. Kimura, J. Xu, T. Mineta, “Fabrication of Tactile Display Mechanism Using
Arrayed SMA Thick Film Actuator and Si TSV Layer with Individually Connecting
Diode”, Trans. IEEJ-E, Vol. 141, No. 7 pp.260-264 (2021. 7) (SS37受賞論文特集号) 査読付 (16)
峯田貴, “ＶＲ／ＡＲ技術における感覚の提示、拡張技術と最新応用事例 (第4章9節“MEMS技術による形状記憶合金型触覚ディスプレイの開発と応用”), 技術情報協会, pp. 226-232 (2021) (17)
佐藤勇人, 丸山顕, 齋藤涼, 峯田貴, “厚膜SMA アクチュエータとコイルばねによるせん断駆動型触覚ディスプレイの形成”, 日本機械学会東北学生会 第50回学生員卒業研究発表講演会, 124-pp.1-2 (2021) (18)
栗城美咲，佐藤翼，峯田貴, “高品質なTiNiCu 形状記憶合金の成膜手法の開発”, 日本機械学会東北学生会 第50回学生員卒業研究発表講演会, 112-pp.1-2 (2021) (19)
平将悟, 小入羽祐治, 峯田貴, “電子顕微鏡のための生体薄片の整列捕捉用MEMSチップの形成”, 第50回学生員卒業研究発表講演会, 611-pp.1-2 (2021) (20)
Ryo Saito, Yusuke Kimura,
Jiale Xu, Takashi Mineta, “Fabrication of Tactile Display Using Arrayed SMA
Film Actuator on Silicon TSV Substrate with Individually Conducting Diode”, 34th
IEEE Int. Conf. on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE-MEMS 2021), pp.
709-711 on line (2021, 1.29) 査読付 2020年 (21) Ryo Saito, Yusuke Kimura, Jiale Xu, Takashi Mineta, “Fabrication of
tactile display using arrayed SMA actuator on Si TSV substrate with
individually conducting diode”, The 8th Int. Conf. on Smart Systems Eng. (SmaSys
2020) (2020.10. 29-30, Yonezawa, Japan) Abstract査読付 (22) 斎藤涼，木村 友翼，徐嘉楽，峯田 貴, “個別通電用Siダイオードを搭載したTSV基板とSMA厚膜アクチュエータを接合したアレイ型触覚ディスプレイの形成”, 第37回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム, 26P3-SS1-4-pp. 01-04 (2020.10.26) ★ 奨励賞受賞 (23) 斎藤涼，木村 友翼，徐嘉楽，峯田 貴, “個別通電用Siダイオードを搭載したTSV電極Si層とSMA厚膜アクチュエータアレイをもつ触覚ディスプレイの形成”, 日本機械学会年次大会, J13116 pp. 1-4 (2020.9.16) (24) 斎藤涼，木村 友翼，徐嘉楽，峯田 貴, “SU-8基板接合を用いたSMA厚膜アクチュエータアレイ／個別通電用TSV電極構造の触覚ディスプレイ素子の形成”, 電気学会センサ･シクロマシン部門総合研究会, pp. 45-48 (2020.7.6) (25) J. Xu, Y. Kimura, K. Tsuji, K. Abe, T. Shimizu, H. Hasegawa, T.
Mineta, Fabrication and characterization of SMA film actuator array with bias
spring for high-power MEMS tactile display, Microelectronic Eng. 227.
111304-1-8 (2020) (26)
Toru Yahagi, Hiroki, Murayama,
Yoshiyuki Watanabe, Takashi Mineta, “Fabrication of MEMS mold with inclined micro-multi-fin
structure and shape transfer to resin by thermal imprint process", J.
Appl. Phys. Jpn, Vol. 59SIIJ02-01-07 (2020) 査読付 (27)
Hideyuki Mitsui, Hiroshi
Kashiwazaki, Takashi Mineta, “PDMS Soft Skin Device with Deformable
Micro-Diaphragm Array Fabricated with Rapid Substrate-Releasing Process”, J.
Robotics and Mechatronics,, Vol. 32, No. 2, pp. 289-296 (2020) 査読付 (28)
斎藤涼，木村 友翼，徐嘉楽，峯田 貴, “個別通電用Siダイオードアレイを搭載したSMA厚膜型触覚ディスプレイの形成”, 日本機械学会東北学生会 第49回学生員卒業研究発表講演会, (2020) (29) 徐 嘉楽, 野々村美宗, 峯田 貴, “種々サイズの凸構造をもつ周期的なSi マイクロ凹凸表面による触感の評価”, 電気学会論文誌E, Vol. 139 No. 12, pp. 393-399 (2020) 査読付 2019年 (30) 岡田 尚樹, 鈴木 広大, 峯田 貴,
“FePd磁歪膜とPZT圧電膜を搭載した共振型MEMS磁気センサ”, 電気学会論文誌E 研究開発レター, Vol. 139. 11, p. 383-384 (2019) 査読付 (31) 木村 友翼, 丸山 顕, 徐 嘉楽, 峯田 貴, “貫通電極Si基板型とSMA厚膜アクチュエータによる触覚ディスプレイの形成”, 第36回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム, 21pm1-PS3-49-pp.01-04 (2019. 11. 20, 浜松) (32) 矢作 徹, 村山 裕紀, 渡部 善幸, 峯田 貴,
“MEMSプロセスを用いた斜め微細多段フィン構造の形成と樹脂への形状転写”, 第36回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム,
21pm1-PS3-13-pp.1-4 (2019. 11. 20, 浜松) (33) 村上 雄志, 三井 秀之, 佐藤 翼, 峯田 貴,
“PDMSダイアフラム上へのマッシュルーム型ナノピラーアレイの形成”, 第36回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム, 20pm3-PS3-22-pp.1-4 (2019. 11. 20, 浜松) (34) 飯島 陽太, 増田 雄介, 田中 勝, 峯田 貴, “AlおよびNi薄膜の熱処理による塑性変形を用いた MEMSカンチレバーのたわみ調整法”, 第36回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム, 20pm3-PS3-14-pp. 01-04 (2019. 11. 20, 浜松) (35) 辻 一樹, 徐 嘉楽, 丸山 顕, 阿部 喜, 清水 智巨, 長谷川 博康, 峯田 貴, “触覚ディスプレイ用のNi厚膜バイアスばね/SU-8マイクロ機構の一括形成および剛性評価”, 第36回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム, 20pm3-PS3-12-pp.01-04 (2019. 11. 20, 浜松) (36) 徐 嘉楽, 木村 友翼, 辻 一樹, 阿部 喜, 清水 智巨, 長谷川 博康, 峯田 貴, “高出力触覚ディスプレイのための形状記憶合金厚膜アクチュエータアレイの形成および特性評価”, 第36回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム, 19pm5-PS3-26-pp.01-04 (2019. 11. 19, 浜松) (37) 丸山 顕, 辻 一樹, 徐 嘉楽, 木村 友翼, 阿部 喜, 清水 智巨, 長谷川 博康, 峯田 貴,
“SU-8マイクロピン搭載型Ni膜バイアスばねアレイとSMA厚膜アクチュエータ接合による触覚ディスプレイ素子の形成”, 精密⼯学会東北⽀部講演会, B07-1-2, (2019.011. 9, 米沢) (38) 矢作 徹, 村山 裕紀, 渡部 善幸, 峯田 貴,
“MEMS技術を用いた極微細多段フィン構造の形成と樹脂への形状転写”, 精密工学会東北⽀部講演会, B01-1-2 (2019.011. 9, 米沢) (39) H. Yahagi, Y. Murayama, Y. Watanabe, T. Mineta, “Fabrication of
MEMS Mold with Inclined Micro-Multi-Fin Structure and Shape Transfer to Resin
by Thermal Imprint Process”, Proc. 32nd Int. Microprocesses and Nanotechnology
Conf. (MNC2019), 30P-6-9-pp. 1-2
(2019.10. 30, Hiroshima) Abstract査読 (40) Yuji Murakami, Hideyuki Mitui, Tubasa Sato, Takashi Mineta, “Fabrication
of mushroom-shape nano-pillar array on PDMS diaphragm using casting MEMS
nano-mold”, SmaSys 2019 (2019.10.11, Yonezawa,
Japan) (41) Masayuki Murakami and Takashi Mineta, Flash-Evaporation of High Cu
Content TiNiCu and TiNiCo Shape Memory Alloy Films, SmaSys 2019 (2019.10.11, , Yonezawa,
Japan) (42) J. Xu, Y. Kimura, K. Tsuji, K. Abe, T. Shimizu, H. Hasegawa, T.
Mineta, “Fabrication and characterization of SMA thick film actuator array for
high power tactile display”, 45th Int. Conf. on Micro Nano Eng. (MNE2019) (2019, 9. 25, Rhodes, Greece)
Abstract査読 (43) M. Tanaka, Y. Iijima, Y. Masuda, T. Sato, T. Mineta, “Adjustment
method of MEMS dual-cantilever deflection using plastic deformation of metal
thin film by thermal annealing”, 45th Int. Conf. on Micro Nano Eng. (MNE2019) (2019, 9. 25, Rhodes, Greece)
Abstract査読 (44) K. Tsuji, J. Xu, K. Abe, T. Shimizu, H. Hasegawa, T. Mineta,
“Fabrication and characterization of arrayed micro-structure with Ni film
springs and photolithographed SU-8 micro-pins for Tactile Display Device”, 45th Int. Conf. on Micro
Nano Eng. (MNE2019) (2019, 9. 25, Rhodes, Greece) Abstract査読 (45) 木村 友翼, 辻 一樹, 梁取 大, 峯田 貴, 阿部 喜, 岩崎 健二, "個別動作型の形状記憶合金厚膜アレイ触覚ディスプレイ素子の形成", 電気学会論文誌E, Vol. 139, No. 9, p.329-334 (2019) 査読付 (46) 村上雄志, 三井秀之, 佐藤翼, 峯⽥貴, “濡れ性可変ダイアフラム上へのPDMSマッシュルーム型ナノピラーアレイの形成”, 電気学会センサ･シクロマシン部門総合研究会,
pp. 27-30 (2019.7.1) 査読なし (47) 飯島陽太, 増⽥雄介, ⽥中 勝, 峯⽥ 貴, “⾦属薄膜の熱処理による塑性変形を⽤いたMEMSカンチレバーのたわみ調整法”, 電気学会センサ･シクロマシン部門総合研究会, pp. 31-34 (2019.7.1) 査読なし (48) 辻一樹, 徐嘉楽, 阿部喜, 清⽔智巨, ⻑⾕川博康, 峯⽥貴, “触覚ディスプレイ⽤のNi薄膜バイアスばねおよびSU-8マイクロ機構の⼀括形成と剛性評価”, 電気学会センサ･シクロマシン部門総合研究会, pp. 89-92 (2019.7.2）査読なし (49) 徐嘉楽, ⽊村友翼, 辻一樹, 阿部喜, 清⽔智巨, ⻑⾕川博康, 峯⽥貴, “⾼出⼒触覚ディスプレイのための形状記憶合⾦厚膜アクチュエータアレイの形成”, 電気学会センサ･シクロマシン部門総合研究会, pp. 93-96 (2019.7.2）査読なし (50) ⽊村友翼, 丸⼭顕, 徐嘉楽, 峯⽥貴, “貫通裏⾯電極をもつ形状記憶合⾦厚膜アクチュエータ型触覚ディスプレイの形成”, 電気学会センサ･シクロマシン部門総合研究会, pp. 97-100 (2019.7.2）査読なし (51) 矢作徹，村山裕紀，渡部善幸, 峯田貴, “MEMSプロセスを用いた斜め多段フィン構造の形成と構造転写の検討”, 表面技術協会第139回講演大会予稿集 (2019) (52) 飯島 陽太, 増田 雄介, 洪 振瑞, 峯田 貴, “Al 薄膜の熱処理による塑性変形を用いたたわみ調整法とデュアルAFM カンチレバーへの応用”, 日本機械学会東北学生会 第49回学生員卒業研究発表講演会, pp. 108-1-2 (2019.3.5) (53) 村上誠幸, 峯田貴, “形状記憶合金フラッシュ蒸着膜の膜厚方向の組成均一性の向上”, 日本機械学会東北学生会 第49回学生員卒業研究発表講演会, pp. 502-1-2 (2019.3.5) (54) 丸山顕, 木村友翼, 徐嘉楽, 峯田貴, “Si 基板貫通配線へ SMA 厚膜アクチュエータを接合した触覚ディスプレイ”, 日本機械学会東北学生会 第49回学生員卒業研究発表講演会, pp. 606-1-2 (2019.3.5) (55) Jinseo Hong, Yusuke
Masuda, Yoshitaka Miura, Takayuki Shibata, Takashi Mineta, “Fabrication Process
of Embedded Silicon Microchannel and Nozzle Structure for Liquid-delivering
Atomic Force Microscopy Probe”, Sensors and Materials, Vol. 31, No. 2(3), pp.
595-605 (2019) 査読付★表紙に電顕画像が採用 (56) Hiroshi Yanatori, Kazuki
Tsuji, Konomu Abe, Kenji Iwasaki, Takashi Mineta, “Fabrication and
Characterization of an Arrayed Shape Memory Alloy Thick Film Actuator Device
for Planar Tactile Display, Trans. IEEJ-E, Vol. 139, No.1 pp. 15-20 (2019) 査読付 2018年 (57) 村上 雄志, 三井 秀之, 佐藤 翼, 峯田 貴, "濡れ性可変PDMSダイアフラムへのアレイ状のナノピラーおよびマッシュルーム型ナノピラー構造の形成", 表面技術協会･腐食防食学会東北支部講演会, pp. 7-8 (2018) ★ 優秀講演賞受賞 (58) 矢作徹, 村山裕紀，渡部善幸,“MEMSプロセスを用いた微細多段フィン構造の形成”, 表面技術協会･腐食防食学会東北支部講演会, (2018) (59) 矢作徹、村山裕紀、阿部泰、村上穣、岩松新之輔、加藤睦人、渡部善幸, 峯田貴, “MEMSプロセスを用いた微細多段フィン構造の形成と樹脂への形状転写”, 第35回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム, 31pm2-PS-110 pp.01-04 (2018.10.31) (60) 木村 友翼, 辻 一樹, 梁取 大, 峯田 貴, 阿部 喜, 岩崎 健二, "個別動作型の形状記憶合金厚膜アレイ触覚ディスプレイ素子の形成", 第35回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム, 30pm4-PS-28 pp.01-04 (2018.10.30) (61) 岡田 尚樹, 鈴木 広大, 峯田 貴,
“FePd磁歪膜とPZT圧電膜を搭載した共振型MEMS磁気センサ”, 第35回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム, 31pm２-PS-128 pp.01-04 (2018.10.31) (62) 辻 一樹, 阿部 喜, 清水 智巨, 長谷川 博康, 峯田 貴, "マイクロピンとフレーム構造を一括形成した触覚ディスプレイ用Ni薄膜平型ばねの作製と剛性評価", 日本機械学会 第26回機械材料・材料加工技術講演会(M&P2018), PP.
662-664 (2018.11.3) (63) 村上 雄志, 三井 秀之, 佐藤 翼, 峯田 貴, "可動凹凸撥水デバイス用 PDMSダイアフラムへのナノピラーとマッシュルーム 構造の形成", 日本機械学会 第26回機械材料・材料加工技術講演会(M&P2018), PP. 665-667
(2018.11.3) (64) Y. Masuda, J. Hong, T.
Mineta, "Batch-Fabrication of Silicon AFM Probe with Liquid Delivering
Micro-Structure near The Cantilever", SmaSys 2018, pp. 73 (2018.10.11) (65) Yusuke Kimura, Kazuki
Tsuji, Konomu Abe, Kenji Iwasaki and Takashi Mineta, "Fabrication and
Characteristics of Shape Memory Alloy Arrayed Thick Film Actuators with
Individual-Actuation-Type Tactile Display Device", SmaSys2018, PO-6 (2018.10.11, Yonezawa, Japan) (66) Kazuki Tsuji, Konomu Abe,
Tomomi Shimizu, Hiroyasu Hasegawa and Takashi Mineta, “Fabrication and
Characterization of Arrayed Ni Thin Film Bias Springs with SU-8 Micro-Pin
structure for Tactile Display Device", SmaSys 2018, PP. 58(CL-15)
(2018.10.12, Yonezawa, Japan) Oral presentation (67) Y. Kimura, K. Tsuji, K.
Abe, Y. Ono, T. Mineta, “Fabrication of tactile display with individual-driving
shape memory alloy thick film actuator array”, 44th Int. Conf. on Micro Nano
Eng. (MNE2018) (2018, 9. 25, Copenhagen, Denmark) (68) J. Xu, J. Gong, H.
Furukawa, Y. Nonomura, T. Mineta, “Characterization of tactile sensation of
deformable surface with micro-bump structure” , 44th Int. Conf. on Micro Nano
Eng. (MNE2018) (2018, 9. 25, Copenhagen, Denmark) (69) J. Hong, K. Mishina, T.
Mineta, “Fabrication of a switchable dual AFM cantilever through a large
deflection using magneto-strictive film”, Trans. IEEJ-E. Vol. 138 No. 9､pp.412-416 (2018) 10.1541/ieejsmas.138.412 (70) 徐嘉楽、野々村美宗､峯田貴､”種々サイズの凸構造をもつ周期的なSiマイクロ凹凸表面による触感の評価”, 電気学会センサ･シクロマシン部門総合研究会 (2018) (71) 木村友翼, 辻一樹, 梁取大, 阿部喜, 小野泰弘, 峯田貴, “形状記憶合金厚膜アレイによる個別動作型触覚ディスプレイ素子の開発”, 第48回日本機械学会東北支部学生会 (2018, 3. 7) (72) 村上雄志, 三井秀之, 峯田貴, “PDMS表面へのナノピラーパターニングと濡れ性切り替えデバイスへの応用”, 第48回日本機械学会東北支部学生会 (2018, 3. 7) (73) Jinseo Hong, Yusuke
Masuda, Takashi Mineta, "Fabrication of a 3D nano-printing device",
Proc. SPIE 10597, Nano-, Bio-, Info-Tech Sensors, and 3D Systems II, 105971A
(23 March 2018) (74) Naoki Okada, Takashi
Sasabuchi, Kunihiro Koike, And Takashi Mineta, “MEMS Magnetic Sensor with
Bridge-Type Resonator and Magnetostrictive Thin Film” Electronics and
Communications in Japan, Vol. 101, No. 3, pp. 90-95 (2018) 2017年 (75) 峯田貴、辻一樹、梁取大、日吉健太、小野泰弘、阿部喜、”SU8微細機構／形状記憶合金厚膜アクチュエータアレイ型触覚ディスプレイ素子形成と動作特性評価“, 第34回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム, 01pm4-PS-142, pp.01-04
(2017) (76) 洪振瑞, 三品和樹, 峯田貴, “磁歪膜を用いた大変位切替型デュアルAFM カンチレバーの形成” , 第34回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム, 31am3-PS-39 pp.01-04
(2017) (77) Jinseo
Hong, Kazuki Mishina, Takashi Mineta, “Fabrication and characterization of dual
AFM cantilever with magneto-strictive film designed for large deflection”, 43th
Int. Conf. on Micro Nano Eng. (2017) (78) T. Mineta,
R. Sato, T. Kamada, “Micro Robotic Finger Device with Thick
Shape-memory-alloy/Ti Bimorph Structure”, 43th Int. Conf. on Micro Nano Eng.
(2017) (79)
増田雄介, 洪振瑞，三浦嘉隆，佐藤翼，峯田貴, “流体デリバ用AFMカンチレバーの埋込型流路閉合とSi探針形状への影響”, 日本機械学会東北支部第53期秋季講演会講演論文集, pp. 302-1-2 (2017) (80)
Takashi Mineta, Hiroshi Yanatori, Kenta Hiyoshi, Kazuki Tsuji, Yasuhiro
Ono, Konomu Abe, “Tactile Display MEMS Device with SU8 Micro-pin and Spring
on SMA Film Actuator Array”, 19th Int. Conf. on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2017),
pp. 2031-2034 (2017) ★Outstanding paper Award Finalist (発表者・辻一樹) (81)
岡田尚樹, 笹渕貴史, 小池邦博, 峯田貴, “ブリッジ構造の共振子と磁歪膜をもつMEMS磁気センサ”, 電気学会論文誌E, Vol.137, .No. 8, pp. 234-238
(2017) (82)
洪振瑞, 増田雄介, 三浦嘉隆, 柴田隆行, 峯田貴, “洪液輸送用のデュアルシリコンAFMプローブのためのマイクロ流路とノズル形成”, 電気学会研究会MSS17-006, pp. 15-16 (2017) (83)
Takashi Mineta, Kenta Kawashima, Ryoga
Taguchi, “Fabrication and characterization of dual AFM probe with narrow-gapped
silicon tips and switchable cantilevers with magneto-strictive FePd film
actuator”, Microelectronic Engineering 168 (2017) pp. 45–49. (84)
増田雄介, 峯田貴, 洪振瑞,, 三品和樹, 佐藤翼, ”液体デリバリ用AFMプローブのためのシリコンマイクロ流路とノズル形成” 第47回機械学会東北支部学生会, pp. 12-13 (2017) (85)
日吉健太, 梁取大, 辻一樹, 阿部喜, 峯田 貴, “厚膜レジスト製マイクロピンアレイ／形状記憶合金厚膜型の触覚提示素子形成と動作特性評価”, 第47回機械学会東北支部学生会, pp. 10-11 (2017) (86)
八島章太郎, 峯田貴, “チューブ型マイクロアクチュエータ作製のための円筒リソグラフィプロセスの基礎的な研究” 第47回機械学会東北支部学生会, pp. 8-9 (2017) (87)
長谷川 信, 日吉 健太, 岡田 尚樹, 工藤 信,峯田 貴, “さくらんぼ収穫動作の力覚センシングシステムの研究”, 第47回機械学会東北支部学生会, pp. 206-207 2016年 (88)
梁取大, 阿部喜, 小野泰弘, 峯田貴, “形状記憶合金厚膜アクチュエータとSU8ばねを用いたアレイ状超薄型触覚ディスプレイ”, 第33回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム,
25am2-LN-209 (pp. 1-2) (2016) ★ 優秀ポスター賞受賞 (89)
岡田尚樹, 笹渕貴史, 小池邦博, 峯田貴, “ブリッジ構造の共振子と磁歪膜をもつMEMS磁気センサ”, 第33回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム, 25am2-PS-041 (pp. 1-4) (2016) (90)
三井秀之, 峯田貴, “PDMSを用いた透明な可変マイクロ凹凸デバイスの形成と動的な濡れ特性の評価”, 第33回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム,
25pm4-PS28 (pp. 1-4) (2016) (91)
佐藤諒，鎌田隆宏，峯田貴, “生体膜操作用の可逆動作機構をもつ形状記憶合金厚膜マイクログリッパ”, 電気学会論文誌E, Vol.136, .No.10, pp. 454-459
(2016) (92)
徐嘉楽，野々村美宗，峯田貴, “エッチングにより形成したSi表面の微細周期構造による手触り感と摩擦の評価”, , 電気学会論文誌E, Vol.136, .No.10, pp. 432-436
(2016) (93)
笹渕貴史, 岡田尚樹, 佐藤翼, 小池邦博, 峯田貴, “FePdスパッタ磁歪膜への熱処理効果のMEMSカンチレバーを用いた評価”, 電気学会論文誌E, Vol.136, .No. 9, pp. 408-412
(2016) (94)
三品和樹, 三浦嘉隆, 川島健太, 峯田貴, “Siナノ探針の先鋭化と近接デュアルAFMプローブの形成”, 電気学会論文誌E, Vol.136, .No.7, pp. 312-318
(2016) (95)
三井秀之, 峯田貴, “透明なPDMSを用いた可変凹凸表面意おける濡れ製の評価と空気の挙動の解明”, 表面技術協会第134回講演大会要旨集, 1D-04-PP. 1-2 (96)
Takashi Sasabuchi, Naoki Okada, Kunihiro
Koike, Takashi Mineta, “MEMS Magnetic Sensor with Bridge-type Resonator and
Magneto-strictive thin film”, Asia-Pacific Conference of Transducers and
Micro-Nano Technology (APCOT 2016), PP. 241-242 (97)
Yoshitaka Miura, Jin-seo Hong, Kazuki
Mishina, Takayuki Shibata and Takashi Mineta “Fabrication of micro-channel and
nozzle in narrow-gapped AFM dual Si probe”, Asia-Pacific
Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT 2016), PP.
233-234 (98)
Haruna Sawaguchi, Jiale Xu, Takahiro Kawai,
Takashi Mineta and Yoshimune Nonomura, “Formation process of apatite layer on
titanium-coated silicon wafer surfaces”, J. Ceramic Soc. Jpn, Vol. 124 [6], pp.
753-756 (2016) (99)
T.
Mineta, “Dual-AFM Probes as An Imaging and In-situ Molecular Operation Tool”,
IEEE-NEMS 2016, C2L-F-1, (2016) Invited (100)
J. Hong, H. Sugo, T. Mineta、I. Kakizaki, “Aminosilane patterning on
substrate surface by PDMS soft stamp for proteoglycan molecular
immobilization”, IEEE-NEMS 2016, A2L-D-4 (2016) (101)
H. Yanatori, T. Mineta, S. Takeuchi, K. Abe,
“A Shape Memory Alloy Thick Film Actuator Array for Narrow Pitched Planar
Tactile Display Device”, IEEE-NEMS 2016, B1L-A-3 (2016) (102)
三井秀之, 峯田貴, “可変マイクロ凹凸表面を持つ透明PDMSデバイスの形成と動的な濡れ特性の評価” , 電気学会全国大会, 3-130
(2016) (103)
岡田尚樹, 笹渕貴史, 佐藤翼, 小池邦博, 峯田貴, “熱処理によるFePd合金膜の磁歪特性向上とMEMS磁気デバイスへの応用”, 第45回機械学会東北支部学生会 (2016) (104)
西澤彩花, 峯田貴, 佐藤将吾, 鈴木佑也, 佐々木成海, 妻木勇一, 工藤信, “さくらんぼ収穫ロボットのための力覚センシングシステムの基礎的な研究”, 第45回機械学会東北支部学生会 (2016) (105)
三井秀之，峯田貴, “可変マイクロ凹凸表面を持つ透明PDMSスキンの形成と動的な濡れ挙動の評価", 第45回機械学会東北支部学生会 (2016) (106)
須郷秀治，洪振瑞，柿崎育子，峯田貴, “APTES蒸気処理によるマイクロパターン状の基板表面修飾とプロテオグリカン分子固定化” , 第45回機械学会東北支部学生会 (2016) 2015年 (107)
H. Yanatori, T. Mineta, “Shape memory alloy
thick film micro-actuator array for MEMS tactile display device”, 25th Annual
Meet. Of MRS-Japan, A3-O9-007 (2015) (108)
T. Sasabuchi , N. Okada , T. Satoh, K. Koike,
T. Mineta, “Annealing Effect on FePd Magneto-strictive Film on Si MEMS
Cantilever”, 25th Annual Meet. Of MRS-Japan, MRS A3-O9-008 (2015) (109)
K. Kawashima, E. Makino, T. Mineta, Trans.
Electronics and Communications in Jpn. Vol. 98, No. 12, pp. 30-36 (2015) (110)
徐嘉楽，野々村美宗，峯田貴, “エッチングにより形成したSi表面の微細周期構造による手触り感と摩擦の評価”, 第32回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム, 30am2-PS-046 (pp. 1-4) (2015) (111)
梁取大，峯田貴, “形状記憶合金厚膜アクチュエータを用いた触覚ディスプレイの開発”, 第32回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム, 30am2-PS-044 (pp. 1-4) (2015) (112)
佐藤諒，鎌田隆宏，峯田貴, “生体膜操作用の可逆動作機構をもつ形状記憶合金厚膜マイクログリッパ”, 第32回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム, 29pm3-PS-029 (pp. 1-4) (2015) (113)
笹渕貴史，岡田尚樹，佐藤翼，小池邦博，峯田貴, “FePdスパッタ磁歪膜への熱処理効果のMEMSカンチレバーを用いた評価”, 第32回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム, 29pm3-PS-017 (pp. 1-4) (2015) (114)
三品和樹，三浦嘉隆，川島健太，峯田貴, “Siナノ探針の先鋭化と近接デュアルAFMプローブの形成”, 第32回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム, 28pm3-B-3 (pp. 1-4) (2015) (115)
三浦嘉隆，三品和樹，川島健太，佐藤翼，柴田隆行，峯田貴, “デュアルAFM探針中空化のためのSiカンチレバー流路形成プロセスの開発”, 第32回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム, 30am2-PS-134 (pp. 1-2) (2015) (116)
洪振瑞，柿崎育子，須郷秀治，峯田貴, “PDMSソフトスタンプによる基板表面のアミノシラン化パターン形成とプロテオグリカン分子固定化”, 第7回マイクロナノ工学シンポジウム, 30am2-PN-004 (pp. 1-4) (2015) (117)
佐藤諒，鎌田隆宏，佐藤翼，峯田貴, “高真空連続フラッシュ蒸着法によるTiNiCu形状記憶合金膜の厚膜形成と膜質評価”, 第7回マイクロナノ工学シンポジウム, 29pm3-PN-055 (pp. 1-2) (2015) (118)
T. Mineta, K. Kawashima, R. Taguchi,
“Fabrication and characterization of dual AFM probe with narrow-gapped silicon
tip and switchable cantilevers with magneto-strictive FePd film actuator”, 41th
Int. Conf. on Micro Nano Eng. (2015) (119)
Jiale Xu , Yoshimune Nonomura, Takashi
Mineta, “Silicon micro-bump arrays for presentation of rough and frictional
tactile sensations”, 3rd Int. Conf. Smart Sys. Eng. (2015) (120)
西澤彩花, 峯田貴, 佐藤将吾, 鈴木佑也, 佐々木成海, 妻木勇一, 工藤信, “さくらんぼ収穫動作のフォースおよびトルクセンシング”, 計測自動制御学会東北支部 第297回研究集会, 291-10 (pp.1-4) (2015) (121)
笹渕貴史, 峯田貴, “シリコンMEMSカンチレバー上のFePd磁歪薄膜の熱処理と特性評価”, 日本機械学会2015年次大会論文集, pp. J2220103-01-02 (2015) (122)
峯田貴, 鎌田隆宏, “生体膜操作用の高剛性型SMA厚膜マイクログリッパの形成”, 日本機械学会2015年次大会論文集, pp. J2230201-01-02 (2015) (123)
峯田貴, 細川優, 井坂秀治, “ワイヤプーリ駆動のための共振型ワイヤ張力センシング機構の基礎的な研究”, 日本機械学会2015年次大会論文集, pp. J1610104-01-02 (2015) (124)
洪振瑞, 峯田貴, 柿崎育子, ”PDMSソフトスタンプによる基板表面のアミノシラン化パターニングとプロテオグリカン分子固定化”, 日本機械学会東北支部第50期総会･講演会論文集, pp.263-264 (2015) (125)
三品和樹, 三浦嘉隆, 峯田貴, 佐藤翼, “先鋭SiデュアルAFM探針の形成と評価”, 第45回機械学会東北支部学生会講演論文集, pp. 37-38 (2015) (126)
梁取大, 峯田貴, “触覚ディスプレイ用SMA厚膜アクチュエータアレイの形成” , 第45回機械学会東北支部学生会講演論文集, pp. 39-40 (2015) (127)
細川優, 峯田貴, 井坂秀治, “ワイヤプーリ駆動における共振型ワイヤ張力センシング機構の基礎的な研究”, 第45回機械学会東北支部学生会講演論文集, pp. 41-42 (2015) ★ 独創研究学生証受賞 （発表者：細川優） (128)
佐藤涼, 峯田貴, 鎌田隆宏, 佐藤翼, “柔軟なTiNiCu形状記憶アクチュエータ厚膜フラッシュ蒸着”, 第45回機械学会東北支部学生会講演論文集, pp. 69-70 (2015) (129)
徐嘉楽, 峯田貴, 佐藤翼, 野々村美宗, “マイクロ凹凸デバイスの表面形状による触感への効果”, 第45回機械学会東北支部学生会講演論文集, pp. 71-72 (2015) 2014年 (130)
峯田 貴, 小林翔太, 小林 誠也, “可動マイクロ凹凸デバイスの形成と動的な濡れ特性評価”, 第31回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム”, 21pm3-PS032(pp.1-4) (2014) (131)
峯田 貴, 川島 健太, 田口涼雅, ”近接シリコン探針とFePd磁歪膜アクチュエータを搭載したデュアルAFMカンチレバー形成と動作特性評価”, 第6回マイクロナノ工学シンポジウム, 20pm1-E4 (pp.1-2) (2014) (132)
鎌田隆宏, 峯田貴, “生体材料シート操作用のフラッシュ蒸着SMA厚膜を用いたマイクログリッパの形成” , 第6回マイクロナノ工学シンポジウム, 20pm1-E5 (pp.1-2) (2014) (133)
峯田貴, ”スマート材料によるMEMSデバイス”, 化学系学協会東北大会講演予稿集, p.65
(2014) 招待講演 (134)
広島美咲, 松永忠雄, 峯田貴, 芳賀洋一, “陽極接合可能なセラミック貫通配線基板を用いた静電駆動型超音波トランスデューサ”, 電気学会論文誌E, Vol. 134, No.
10, pp. 333-337 (2014) (135)
峯田貴, 西方孝志, 西山宏昭, 川島貴弘, 柴田隆行, 岡崎貞子, 古屋泰文, “磁歪膜/圧電膜を積層した共振型MEMS磁気センサ”, 日本設計工学会秋季大会研究発表講演会講演論文集,
pp.115-116 (2014) (136)
三浦嘉隆, 峯田貴, 三品和樹, 川島健太, “近接デュアルAFM探針先端の先鋭化プロセスの検討”, 日本設計工学会秋季大会研究発表講演会講演論文集,
pp.109-110 (2014) (137)
鎌田隆宏, 峯田貴, “生体膜操作用のSMA厚膜マイクログリッパの力学的設計と形成”, 日本設計工学会秋季大会研究発表講演会講演論文集, pp.105-106 (2014) (138)
T. Mineta, ”Dual AFM probe for imaging and
in-situ mechanical operation”, IEEE Int. Nano Electronics Conf. (INEC),
pp.01-03 Sapporo, Japan (2014) Invited (139)
T. Mineta, A. Sugai, R. Kazama, Y.
Tsumaki, “Characterization of Environmental-driven Thermal Buckling Actuator
for an Asteroid Exploration Rover”, Int. Symp. on Artificial Intelligence, Robotics and
Automation in Space (i-SAIRAS2014), Montreal, Canada, 2014 (140)
西方孝志, 峯田 貴, 川島貴弘, 柴田隆行, 岡崎貞子, 古屋泰文, “磁歪膜を積層した共振型MEMS磁気センサ”, 機械学会ロボットメカトロニクス講演 (2014) (141)
菅井敦久, 峯田貴, 妻木勇一, 風間亮, 吉光徹雄, 久保田孝, 矢野創, 黒田洋司, 足立忠司, “環境温度駆動型の座屈アクチュエータによる微小重力落下試験用ローバーの跳躍特性評価”, 機械学会ロボットメカトロニクス講演 (2014) (142)
峯田 貴, 菅井敦久, 風間 亮, 妻木勇一, “小惑星探査ローバー用の環境温度駆動バイメタル座屈アクチュエータの特性評価”, 機械学会ロボットメカトロニクス講演 (2014) (143)
三浦 嘉隆, 峯田 貴, 佐藤 翼, “高加速EBリソグラフィによる薄膜ナノ電極対の形成とヒアルロン酸分子捕捉への応用”, 第44回機械学会東北支部学生会, pp. 129-130 (2014) (144)
小林 翔太、小林 誠也、峯田 貴, “マイクロ可変凹凸デバイスの形成と動的な濡れ特性評価”, 第44回機械学会東北支部学生会, pp. 121-122 (2014) (145)
田口涼雅，川島健太，西方孝志，峯田貴，”磁歪薄膜積層MEMSカンチレバーの形成とデュアルAFMプローブへの応用”， 第44回機械学会東北支部学生会, pp. 127-128 (2014) (146)
Kenta Kawashima, Eji Makino, Takashi
Mineta, " Fabrication of narrow-gapped dual Si AFM tips by mechanically
polishing-back for selective trench sidewalls protection". Trans. IEEJ.
Vol.134. No.4, pp. 74-78 (2014) (147)
川島 健太, 峯田 貴, 牧野 英司, 川島 貴弘, 柴田隆行, “SiトレンチのSOG埋込による近接デュアルAFM探針とNi積層デュアルカンチレバーの作製”, 電気学会論文誌E, Vol.134.No.4，pp.90-95 (2014) (148)
Ikuko Kakizaki, Takashi Mineta, Mana
Sasaki, Yota Tatara, Eiji Makino, Yoji Kato, “ Biochemical and atomic force microscopy
characterization 1 of salmon nasal cartilage proteoglycan”, Carbohydrate
Polymers, Vol. 103 pp. 538– 549 (2014) 2013年 (149)
峯田 貴, 長澤 崇弘, 柏崎
浩史, 小林 誠也, “可変マイクロ凹凸表面をもつ濡れ性可変デバイスの形成” 第30回センサマイクロマシンと応用システム,
5PM3-PSS-017 (pp.1-4) (2013) (150)
川島 健太, 峯田 貴, 牧野 英司, 川島 貴弘, 柴田隆行, “SiトレンチのSOG埋込による近接デュアルAFM探針とNi積層デュアルカンチレバーの作製”, 第30回センサマイクロマシンと応用システム6PM3-PSS-042 (pp.1-4) (2013) (151)
広島 美咲，松永 忠雄，峯田 貴，芳賀洋一, “陽極接合可能なセラミック貫通配線基板を用いた静電駆動型超音波トランスデューサ”, 第30回センサマイクロマシンと応用システム5PM1-A-6 (pp.1-4) (2013) (152)
西方孝志, 峯田貴, 田口涼雅, 川島健太, “シリコンMEMSカンチレバー上に成膜した高配向磁歪薄膜の特性評価”, 第5回マイクロナノ工学シンポジウム, pp.
73-74 (2013) (153)
笹渕貴史，峯田貴, “MEMSカンチレバーアレイを用いたコンビナトリアル法によるFe-Pd合金膜の磁歪特性評価”, 第5回マイクロナノ工学シンポジウム,
pp.201-202 (2013) (154)
鎌田隆宏, 峯田貴, “形状記憶合金厚膜形成のための高真空フラッシュ蒸着装置の開発”, 第5回マイクロナノ工学シンポジウムpp.71-72
(2013) (155)
K. Kawashima, T. Okazaki, Y. Furuya, E.
Makino, T. Mineta, “Fabrication of ultra-narrow-gapped dual AFM tip and silicon
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T. Shibata, K. Nakamura, S. Hoiike, M.
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T. Mineta, T. Nagasawa, H. Kashiwazaki, S.
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T. Shibata, M. Banno, Y. Ito, M. Nagai, T.
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佐々木愛，成田学人，小山崇宣，牧野英司，小林誠也，峯田貴, “マイクロ化学分析システムのための微小液滴の移送および混合”, 表面技術協会第125回講演大会要旨集, pp.267-268
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小林誠也，牧野英司，中道竜太郎，佐々木愛，峯田貴, “感光性エポキシ樹脂SU-8を用いた微細2段階ピラー構造の形成とそのはっ水特性”, 表面技術協会第125回講演大会要旨集, 266 (2012) (185)
川島健太, 峯田貴, 岡崎禎子, 古屋泰文, “磁歪膜を積層した近接デュアルAFMプローブの形成”, 機械学会東北支部学生会, pp.264-265
(2012) (186) 西方孝志, 峯田貴, 岡崎 禎子, 古屋 泰文, “磁歪効果を用いたメカニカルなマイクロ磁気センサの基礎研究”, 機械学会東北支部学生会, pp. 226-227
(2012) (187) 柏崎 浩史, 峯田
貴, 小林 誠也, 牧野
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祐介，川島健太，西方孝志，牧野 英司，岡崎 禎子，古屋 泰文, “FePd磁気形状記憶合金を薄膜したSi-MEMSカンチレバー形成と変形特性評価”, 日本機械学会東北支部第47回秋期講演会論文集, 341 (190) 峯田 貴, 小林誠也, 牧野英司, “能動撥水スキンのためのPDMS微細可変凹凸構造の形成”, 日本機械学会東北支部第47回秋期講演会論文集, 351 (191) 小林誠也, 岩松新之助, 矢作徹, 渡部善幸, 牧野英司, 峯田 貴, “親水・はっ水構造と薄膜ヒータの加熱によるグルコースの蛍光修飾”, 日本機械学会東北支部第47回秋期講演会論文集, 352 (192) 峯田 貴，佐渡
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