Graduated sudents 　　　Theses　（博士Dr，修士Ms，卒業　 論文) 　　Careera after graduation （進路）

　　　　　　　　　親水パターンの濡れによる液滴輸送の研究」

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　※　研究室奨励賞　授与
　滝口創太　「厚膜レジスト円筒リソグラフィの精度向上とチューブ型
　　　　　　　　　多軸フォースセンサ機構の形成
　　　　　　　　　　※ 計測自動制御学会優秀学生賞　受賞

□　卒業研究
　佐藤健太郎「佐藤健太郎「形状記憶合金シートを用いた
　　　　　　　　MEMS型多軸力および硬さセンサの形成」(2023年9月)

　田上 竜也　「7×7アレイSMA触覚ディスプレイの刺激提示評価と
　　　　　　　　　Si-TSV層との一体形成プロセス」
　今野 竜之介　「厚膜レジストの円筒リソグラフィを用いた
　　　　　　　　　能動カテーテル機構部形成」

　大槻力輝　「可変凹凸マイクロダイヤフラムのゲート構造を用いた
　　　　　　　　　液滴移動デバイスの形成」

2022年度

◆　大学院博士後期課程　

　小入羽祐治「MEMS技術を応用した試料キャリアによる観察および
    　　　　　　　分析に関する研究」(2023.9月 *社会人･日本電子㈱)

■　大学院博士前期課程

　佐藤勇人　「SMA厚膜を用いたせん断振動型MEMS触覚ディスプレイ
　　　　　　　　　素子の形成と触覚提示特性の検証」
　　　　　　　　　　　　※ 機械学会三浦賞受賞

□　卒業研究
　関 康貴「微細加工のためのLiイオン電解質と
　　　　　　　有機溶媒によるTiの電解プロセスの基礎的な研究」
　清水広人「形状記憶合金厚膜とバイアスばねを用いたせん断振動型
　　　　　　　触覚ディスプレイの形成と触覚提示評価」
　田村晴紀「多素子化したSMA厚膜アクチュエータ型
　　　　　　　MEMS触覚ディスプレイの形成と動作特性の評価」
　木村卓登「TiNiCu形状記憶合金スパッタ成膜のための基板加熱と
　　　　　　　回転機構の開発」


2021年度

■　大学院博士前期課程

　齋藤凉　「熱応答向上型形状記憶合金アクチュエータと　　　　　　
　　　　微細TSV構造をもつMEMS触覚ディスプレイの開発」
　　　　　※　山形大学優秀学生賞、優秀学術研究賞　受賞

□　卒業研究
　小椋創太　「組成を制御したTiNiCu形状記憶合金の厚膜成膜装置の開発」
　天野晏年　「触覚ディスプレイ用SMA厚膜アクチュエータアレイと
　　　　　　　個別駆動のための有機ダイオード素子の形成」
　高橋　響　「MEMSチップ表面の親水パターンを用いた生体薄片捕捉法」
　小林和生　「さくらんぼ収穫のもぎ取り力と把持力のセンシング
　　　　　　　および多軸触覚センサの形成」
　滝口創太　「UVレーザー描画による厚膜レジストの高精度円筒リソグラフィ」
　友永達基 「プロテオグリカン分子固定化条件と微細パターニングの検討」
　会田啓太郎「Ti系材料の精密微細加工のための噴流式電解エッチング」
　石川仁　「微小領域加熱における基板上の温度分布評価のための
　　　　　　サブµmピッチの薄膜熱電対アレイの形成


2020年度

◆　大学院博士後期課程

　矢作 徹　 「多層膜による微細多段フィン構造形成と樹脂への
　　　　　　形状転写に関する研究」　*社会人(山形県工技センター)

■　大学院博士前期課程

　丸山顕　「SMA厚膜触覚ディスプレイの形成プロセスの簡素化と
　　　　　　高精度化の研究」
　飯島陽太　「切換型サーマルAFM多段カンチレバーの形成」

□　卒業研究
　佐藤勇人　「厚膜SMA アクチュエータとコイルばねによる
　　　　　　せん断駆動型触覚ディスプレイの形成」
　栗城美咲　「高品質SMA厚膜の成膜手法の開発」
　　　　　　　　　　　　　　　　※　峯田研奨励賞授与


2019年度

◆　大学院博士後期課程

　徐 嘉楽 　「微細アレイ構造による触感提示に関する研究」

■　大学院博士前期課程

　辻 一樹 　「高出力型の触覚ディスプレイのためのSU-8構造体をもつ
　　Ni厚膜バイアスばねおよび形状記憶合金厚膜アクチュエータの形成」
　　（2019年9月）2020.03まで職員(研究支援者)　
　　　　　　　　　　　※　山形大学優秀学生賞受賞
　木村友翼　「SiダイオードとTSV電極を搭載した触覚提示用の
　　　　　　　　形状記憶合金厚膜アクチュエータアレイの形成　
　　　　　　　　　　　※　秦逸三賞受賞
　村上雄志 「マッシュルーム型凹凸アレイ構造による
　　　　PDMS濡れ性可変デバイスの高撥水化」　
　　　　　　　　　　　　　　　　※　峯田研奨励賞授与

□　卒業研究
　梅津拡季「フラッシュ蒸着によるSMA/金属の積層膜を用いた
　　　　　　　多段フィン構造の形成
　熊谷将史「細胞の整列捕捉を目指したマイクロPDMS
　　　　　　ダイアフラムアレイの形成」
　齋藤 涼　「個別通電用ダイオードを搭載したSMAアクチュエータ
　　　　　　アレイ型触覚ディスプレイの形成
　NUR SHAUQIL AMIN BIN MUHAMAD SANUZI
　　　　　　「能動カテーテル機構部の一括形成プロセスの研究」　
　　　　　　　　　　　　　　　※　峯田研奨励賞授与

2018年度

◆　大学院博士後期課程
　洪　振瑞　"Study on fabrication of dual atomic force microscopic probe
　　　　　　with liquid delivering function"
　　　　　　（液輸送機能を持つデュアル原子間力顕微鏡プローブ形成に
　　　　　　　関する研究）

■　大学院博士前期課程

　増田雄介　「埋込型流路の最適形成と薄膜型たわみ調整を用いた
　　　　　　　液体デリバリAFMカンチレバーの形成

□　卒業研究
　飯島陽太　「金属薄膜の熱処理による塑性変形を用いたたわみ調整法と
　　　　　　　　デュアルAFMカンチレバーへの応用」
　丸山　顕　「貫通裏面電極型のSMA厚膜触覚ディスプレイの形成」
　村上誠幸　「形状記憶合金フラッシュ蒸着膜の膜厚方向の組成均一性の向上」
　藤田健太郎「さくらんぼ収穫動作の計測および光学式分布型圧力センサの開発」


2017年度

　■　大学院博士前期課程

　岡田尚樹　「構造ひずみを用いたMEMSブリッジ共振型
　　　　　　　高感度メカニカルセンサの研究」　
　　　　 　 　 　 　※　自動車技術協会研究奨励賞受賞
　三井秀之 「濡れ性の動的変化増大のためのPDMS
　　　　　　可変マイクロ凹凸デバイスの研究」
　　　　　　　　　　※　学位授与式代表

□　卒業研究
　辻　一樹　「形状記憶合金型触覚ディスプレイの駆動パターンによる
　　　　　　　触覚評価と耐久性向上の研究」（2017年9月）
　木村友翼　「形状記憶合金厚膜アレイによる個別動作型
　　　　　　　触覚ディスプレイ素子の開発]
　鈴木広大「圧電共振ブリッジ型の力覚，磁気，温度センサの形成
　　　　　　　　および動作特性評価」
　田中貴弘「紫外レーザー直描とマスク露光による円筒リソグラフィの
　　　　　　　能動カテーテル形成への応用」　
　村上雄志　「表面のナノピラーパターニングと
　　　　　　　濡れ性切り替えデバイスへの応用」

　2016年度

　■　大学院博士前期課程

　佐藤 諒　「形状記憶合金フラッシュ蒸着膜による生体膜操作用
　　　　　　マイクログリッパの作製および動作評価」
　三品和樹　「液体ﾃﾞﾘﾊﾞﾘ原子間力顕微鏡ﾃﾞｭｱﾙﾌﾟﾛｰﾌﾞの探針先鋭化と
　　　　　　流路形成した磁歪切換型ｶﾝﾁﾚﾊﾞｰの形成」
　梁取大　「形状記憶合金厚膜アクチュエータとバイアス機構による
　　　　　　MEMS型ピンアレイ触覚ディスプレイの開発」
　　　　
　　　　　　　　　　　※ 機械学会三浦賞受賞

□　卒業研究　
　増田雄介　「液体デリバリ用AFMプローブのための
　　　　　　　シリコンマイクロ流路とノズル形成」
　八島章太郎　「ﾁｭｰﾌﾞ型ﾏｲｸﾛ機構部形成のための円筒ﾘｿｸﾞﾗﾌｨと
　　　　　　　　造形法の基礎的な研究」
　日吉健太　「厚膜ﾚｼﾞｽﾄ製ﾏｲｸﾛﾋﾟﾝｱﾚｲ/形状記憶合金厚膜型の
　　　　　　　触覚提示素子形成と動作特性評価」
　長谷川信　「さくらんぼの把持と収穫動作の力覚センシングシステムの研究」
　　

2015年度

■　大学院博士前期課程

　笹渕貴史　「FePd薄膜の磁歪特性の向上と共振型
　　　　　　高感度MEMS磁気センサの開発」
　
　三浦嘉隆　「近接デュアルAFMプローブの先鋭探針と
　　　　　　　　液輸送用流路カンチレバーの形成」
　　　　　　
□　卒業研究　
　岡田尚樹　「磁歪膜を用いた高感度共振型MEMS磁気センサの開発」
　　　　　　　　　　　※ 日本機械学会畠山翔受賞
　須郷秀治　「APTES蒸気処理によるマイクロパターン状の
　　　　　　　　基盤表面処理とプロテオグリカン分子固定化」
　　　　　　　　　　　※　山形大学優秀学生賞受賞
　西澤彩花　「さくらんぼ収穫ロボットのための
　　　　　　　　力覚センシングシステムの基礎的な研究」
　三井秀之　「PDMSを用いた透明な可変マイクロ歩凹凸デバイスの
　　　　　　　　形成と動的な濡れ機構の解明」


2014年度

■　大学院博士前期課程

　鎌田隆宏　「生体膜操作用の形状記憶合金厚膜型マイクログリッパの開発」
　　　　　　　　　　　※ 日本設計工学会武藤賞受賞

□　卒業研究
　佐藤　諒　「柔軟な形状記憶アクチュエータ厚膜のフラッシュ蒸着」
　徐　嘉楽　「マイクロ凹凸表面デバイス表面形状による触感への効果」
　　　　　　　　　　　※ 機械学会畠山賞受賞
　細川　優　「ワイヤプーリ駆動における共振型ワイヤ張力センシング
　　　　　　　機構の基礎的な研究」
　三品和樹　「先鋭デュアル探針の形成」
　梁取　大　「触覚ディスプレイ用SMA厚膜アクチュエータアレイの形成」

2013年度

■　大学院博士前期課程

　川島 健太　「近接探針を持つ磁歪駆動型デュアルAFMプローブの開発」
　　　　　　　　　　　　　　※ 機械学会三浦賞受賞
  西方 孝志　「磁歪効果を用いたMEMSブリッジ型メカニカル磁気センサの開発」
                            ※ 日本設計工学会武藤賞受賞

□　卒業研究
　小林翔太　「マイクロ可変凹凸デバイスの形成と動的な濡れ特性の評価」
  田口涼雅　「磁歪薄膜積層MEMSカンチレバーの形成と
　　　　　　　　デュアルAFMプローブへの応用」
　三浦嘉隆　「高加速EB[リドグラフィによる薄膜ナノ電極対の形成と
　　　　　　　　ヒアルロン酸分子捕捉への応用」


2012年度

□　卒業研究
　洪　振瑞　「ナノドット表面処理とPG分子固定化」　2012年9月
　鎌田 隆宏　「形状記憶合金厚保膜形成のための
　　　　　　　高真空フラッシュ蒸着装置の開発」
　笹渕 貴史　「MEMSカンチレバーを用いた磁歪合金スパッタ膜の特性評価」
　菅井 敦久　「小惑星探査ローバー用の環境温度駆動型
　　　　　　　座屈ばねアクチュエータの開発」


2011年度

□　卒業研究
　柏崎 浩史「液滴操作のための可変マイクロ凹凸機構を持つ撥水表面の形成」
  川島 健太「磁歪膜を積層した近接デュアルAFMプローブの形成」
  西方 孝志「磁歪効果を用いたメカニカルなマイクロ磁気センサの基礎研究」