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Graduated sudents
   Theses (博士Dr,修士Ms,卒業  論文)
  Careera after graduation
(進路)
  

2021年度

■ 大学院博士前期課程

 齋藤凉 「熱応答向上型形状記憶合金アクチュエータと      
    微細TSV構造をもつMEMS触覚ディスプレイの開発」

     ※ 山形大学優秀学生賞、優秀学術研究賞 受賞

□ 卒業研究
 小椋創太 「組成を制御したTiNiCu形状記憶合金の厚膜成膜装置の開発」
 天野晏年 「触覚ディスプレイ用SMA厚膜アクチュエータアレイと
       個別駆動のための有機ダイオード素子の形成」
 高橋 響 「MEMSチップ表面の親水パターンを用いた生体薄片捕捉法」
 小林和生 「さくらんぼ収穫のもぎ取り力と把持力のセンシング
       および多軸触覚センサの形成」
 滝口創太 「UVレーザー描画による厚膜レジストの高精度円筒リソグラフィ」
 友永達基 「プロテオグリカン分子固定化条件と微細パターニングの検討」
 会田啓太郎「Ti系材料の精密微細加工のための噴流式電解エッチング」
 石川仁 「微小領域加熱における基板上の温度分布評価のための
      サブµmピッチの薄膜熱電対アレイの形成


2020年度

◆ 大学院博士後期課程

 矢作 徹  「多層膜による微細多段フィン構造形成と樹脂への
      形状転写に関する研究」

■ 大学院博士前期課程

 丸山顕 「SMA厚膜触覚ディスプレイの形成プロセスの簡素化と
      高精度化の研究」
 飯島陽太 「切換え型サーマルAFM多段カンチレバーの形成」


□ 卒業研究
 佐藤勇人 「厚膜SMA アクチュエータとコイルばねによる
      せん断駆動型触覚ディスプレイの形成」
 栗城美咲 「高品質SMA厚膜の成膜手法の開発」


2019年度

◆ 大学院博士後期課程

 徐 嘉楽  「微細アレイ構造による触感提示に関する研究」

■ 大学院博士前期課程

 辻 一樹  「高出力型の触覚ディスプレイのためのSU-8構造体をもつ
  Ni厚膜バイアスばねおよび形状記憶合金厚膜アクチュエータの形成」
  (2019年9月)2020.03まで研究支援者 
           
※ 山形大学優秀学生賞受賞
 木村友翼 「SiダイオードとTSV電極を搭載した触覚提示用の
        形状記憶合金厚膜アクチュエータアレイの形成 
          
 ※ 秦逸三賞受賞
 村上雄志 「マッシュルーム型凹凸アレイ構造による
    PDMS濡れ性可変デバイスの高撥水化」
 
              ※ 研究室特別奨励賞授与

□ 卒業研究
 梅津拡季「フラッシュ蒸着によるSMA/金属の積層膜を用いた
       多段フィン構造の形成
 熊谷将史「細胞の整列捕捉を目指したマイクロPDMS
      ダイアフラムアレイの形成」
 齋藤 涼 「個別通電用ダイオードを搭載したSMAアクチュエータ
      アレイ型触覚ディスプレイの形成
 NUR SHAUQIL AMIN BIN MUHAMAD SANUZI
      「能動カテーテル機構部の一括形成プロセスの研究」 
               ※ 研究室特別奨励賞授与

2018年度

◆ 大学院博士後期課程
 洪 振瑞 "Study on fabrication of dual atomic force microscopic probe
      with liquid delivering function"
      (液輸送機能を持つデュアル原子間力顕微鏡プローブ形成に
       関する研究)


 増田雄介 「埋込型流路の最適形成と薄膜型たわみ調整を用いた
       液体デリバリAFMカンチレバーの形成


□ 卒業研究
 飯島陽太 「金属薄膜の熱処理による塑性変形を用いたたわみ調整法と
        デュアルAFMカンチレバーへの応用」
 丸山 顕 「貫通裏面電極型のSMA厚膜触覚ディスプレイの形成」
 村上誠幸 「形状記憶合金フラッシュ蒸着膜の膜厚方向の組成均一性の向上」
 藤田健太郎「さくらんぼ収穫動作の計測および光学式分布型圧力センサの開発」

 2017年度

 ■ 大学院博士前期課程

 岡田尚樹 「構造ひずみを用いたMEMSブリッジ共振型
       高感度メカニカルセンサの研究」 
       ”A study on MEMS bridge resonator type mechanical sensors
       with structural distortion”
            
※ 自動車技術協会研究奨励賞受賞
 三井秀之 「濡れ性の動的変化増大のためのPDMS
      可変マイクロ凹凸デバイスの研究」
      "A sutdy on PDMS deformable micro-bump array device
       for extensive change of dynamic wettability"

          ※ 学位授与式代表

□ 卒業研究
 辻 一樹 「形状記憶合金型触覚ディスプレイの駆動パターンによる
       触覚評価と耐久性向上の研究」(2017年9月)
 木村友翼 「形状記憶合金厚膜アレイによる個別動作型
       触覚ディスプレイ素子の開発]
 鈴木広大「圧電共振ブリッジ型の力覚,磁気,温度センサの形成および動作特性評価」
 田中貴弘「紫外レーザー直描とマスク露光による円筒リソグラフィの
       能動カテーテル形成への応用」 
 村上雄志 「表面のナノピラーパターニングと
       濡れ性切り替えデバイスへの応用」

 2016年度

 ■ 大学院博士前期課程

 佐藤 諒 「形状記憶合金フラッシュ蒸着膜による生体膜操作用
      マイクログリッパの作製および動作評価」
     ”Fabrication and actuation test of micro gripper with
      flash-evaporatedshape memory alloy film for bio-sheet handling”
 三品和樹 「液体デリバリ原子間力顕微鏡デュアルプローブの探針先鋭化と
      流路形成した磁歪切換型カンチレバーの形成」
      ”Tip sharpening for dual AFM probe with liquid delivery and
      fabrication of magnetostrictive switching type
      Si cantilever with microchannels”
 梁取大 「形状記憶合金厚膜アクチュエータとバイアス機構による
      MEMS型ピンアレイ触覚ディスプレイの開発」
      ”Development of MEMS type pin array tactile display using
      shape memory alloy thick film actuator and bias mechanism”

           ※ 機械学会三浦賞受賞

□ 卒業研究 
 増田雄介 「液体デリバリ用AFMプローブのための
       シリコンマイクロ流路とノズル形成」
 八島章太郎 「チューブ型マイクロ機構部形成のための円筒リソグラフィと
        造形法の基礎的な研究」
 日吉健太 「厚膜レジスト製マイクロピンアレイ/形状記憶合金厚膜型の
       触覚提示素子形成と動作特性評価」
 長谷川信 「さくらんぼの把持と収穫動作の力覚センシングシステムの研究」
  

2015年度

■ 大学院博士前期課程

 笹渕貴史 「FePd薄膜の磁歪特性の向上と共振型
      高感度MEMS磁気センサの開発」
     “Improvement of magnetostrictive property of FePd film
       and development of resonance-type high sensitive
      MEMS magnetic sensor”
 三浦嘉隆 「近接デュアルAFMプローブの先鋭探針と
        液輸送用流路カンチレバーの形成」
       ”Fabrication of sharp tip and microchaneel cantilever
        for liquid tranport on narrow-gapped dual AFM probe


□ 卒業研究 
 岡田尚樹 「磁歪膜を用いた高感度共振型MEMS磁気センサの開発」
           ※ 日本機械学会畠山翔受賞
 須郷秀治 「APTES蒸気処理によるマイクロパターン状の
        基盤表面処理とプロテオグリカン分子固定化」
           ※ 山形大学優秀学生賞受賞
 西澤彩花 「さくらんぼ収穫ロボットのための
        力覚センシングシステムの基礎的な研究」
 三井秀之 「PDMSを用いた透明な可変マイクロ歩凹凸デバイスの
        形成と動的な濡れ機構の解明」


2014年度

■ 大学院博士前期課程

 鎌田隆宏 「生体膜操作用の形状記憶合金厚膜型マイクログリッパの開発」

           ※ 日本設計工学会武藤賞受賞

□ 卒業研究
 佐藤 諒 「柔軟な形状記憶アクチュエータ厚膜のフラッシュ蒸着」
 徐 嘉楽 「マイクロ凹凸表面デバイス表面形状による触感への効果」
           ※ 機械学会畠山賞受賞
 細川 優 「ワイヤプーリ駆動における共振型ワイヤ張力センシング
       機構の基礎的な研究」
 三品和樹 「先鋭デュアル探針の形成」
 梁取 大 「触覚ディスプレイ用SMA厚膜アクチュエータアレイの形成」


2013年度

■ 大学院博士前期課程

 川島 健太 「近接探針を持つ磁歪駆動型デュアルAFMプローブの開発」
             
 ※ 機械学会三浦賞受賞
  西方 孝志 「磁歪効果を用いたMEMSブリッジ型メカニカル磁気センサの開発」

                            ※ 日本設計工学会武藤賞受賞

□ 卒業研究
 小林翔太 「マイクロ可変凹凸デバイスの形成と動的な濡れ特性の評価」
  田口涼雅 「磁歪薄膜積層MEMSカンチレバーの形成と
        デュアルAFMプローブへの応用」
 三浦嘉隆 「高加速EB[リドグラフィによる薄膜ナノ電極対の形成と
        ヒアルロン酸分子捕捉への応用」


2012年度

□ 卒業研究
 洪 振瑞 「ナノドット表面処理とPG分子固定化」 2012年9月
 鎌田 隆宏 「形状記憶合金厚保膜形成のための
       高真空フラッシュ蒸着装置の開発」
 笹渕 貴史 「MEMSカンチレバーを用いた磁歪合金スパッタ膜の特性評価」
 菅井 敦久 「小惑星探査ローバー用の環境温度駆動型
       座屈ばねアクチュエータの開発」


2011年度

□ 卒業研究
 柏崎 浩史「液滴操作のための可変マイクロ凹凸機構を持つ撥水表面の形成」
  川島 健太「磁歪膜を積層した近接デュアルAFMプローブの形成」
  西方 孝志「磁歪効果を用いたメカニカルなマイクロ磁気センサの基礎研究」

 


 (主な進路)
  ■ 大学院生(博士後期課程):
   和歌山高専、 山形大学研究員

  ■ 大学院生(博士前期過程):
   博士後期課程進学、
   富士電機(2)、アルプスアルパイン、キャノンアネルバ、
   凸版印刷(2)、フジクラ(2)、大日本印刷、GSユアサ、
   青森オリンパス,リコーテクノロジーズ、
   グローバルウエハースジャパン、
   東京エレクトロン、ニコン仙台, キャノントッキ 

  □ 卒業研究生:
   大学院進学(山形大学), 
   日本アビオニクス、、テクノメタル、カンセツ、アルプス電機マレーシア、
   ニフコ山形、大同信号、コスモウエブ、伊藤ハム、
   富士電機、エプソン、彌満和製作所、
   鷺宮製作所,ジヤトコ,トプコン山形,キリウ